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王慧

作品数：2 被引量：7H指数：2
供职机构：西安工业大学光电工程学院更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇散射
  • 1篇自动设备
  • 1篇温度
  • 1篇温度控制
  • 1篇后向散射
  • 1篇激光
  • 1篇激光能
  • 1篇激光能量
  • 1篇激光能量测量
  • 1篇光能量
  • 1篇高能激光
  • 1篇PLC

机构

  • 2篇西安工业大学
  • 1篇长春理工大学
  • 1篇中国兵器工业...

作者

  • 2篇王慧
  • 1篇刘宝元
  • 1篇聂亮
  • 1篇陈丁
  • 1篇于洵
  • 1篇徐昌杰
  • 1篇陈大川
  • 1篇张海刚

传媒

  • 1篇光子学报
  • 1篇微计算机信息

年份

  • 2篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
高能激光计后向散射能量损失补偿方法研究被引量：5
2009年
针对锥形腔高能激光计后向散射能量损失补偿问题,系统分析了均匀分布激光入射强漫反射面情况下的锥形吸收腔的后向散射问题,进而针对不同高能量激光的输出光斑形状,建立了锥形吸收腔开口处光功率密度分布和后向散射总功率的数学模型,在此基础上对测量结果进行了补偿和修正,有效改善了高能量激光能量测量准确度.
于洵王慧聂亮刘宝元
关键词：激光能量测量后向散射
硅片涂胶及软烘自动设备的研制被引量：2
2009年
为了提高硅片光刻工艺中—涂胶及软烘两操作的实验效率,减少手工操作可能带来对硅片表面的污染。系统采用机械手代替手工完成硅片在各工位之间自动化传输。硬件部分采用PLC作为控制核心部件,由步进电机、接近开关、光电开关、热电阻、电磁阀等组成。详细介绍了软件控制方法,实现硅片精确传输、光刻胶用量控制、软烘温度检测等功能。
陈丁徐昌杰陈大川张海刚王慧
关键词：PLC温度控制
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共1页<1>
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