您的位置： 专家智库 > >

王珍

作品数：2 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院兰州物理研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇质谱
  • 1篇质谱仪
  • 1篇砷化镓
  • 1篇离子束
  • 1篇离子注入
  • 1篇金属
  • 1篇化合物
  • 1篇溅射
  • 1篇半导体
  • 1篇SIMS分析
  • 1篇GAAS材料

机构

  • 2篇中国科学院兰...

作者

  • 2篇王珍
  • 1篇蒋能
  • 1篇范垂祯
  • 1篇杨得全

传媒

  • 1篇真空与低温
  • 1篇中国物理学会...

年份

  • 1篇1990
  • 1篇1988
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
用SIMS分析注Si的GaAs材料的一些实验结果
范垂祯蒋能王珍
关键词：砷化镓质谱仪质谱离子注入
一些金属、半导体和化合物的A_r^+溅射产额被引量：4
1990年
离子溅射技术已广泛地应用于现代工艺和研究领域的许多方面,成为一种重要的技术手段。表面分析技术结合溅射剥离技术可以获得固体成份的深度分布,这在许多研究工作中和应用技术领域中有着重要意义。此外,在基片上用溅射法进行薄膜的沉积;利用溅射可以获得原子级的清洁表面;对薄膜进行深度剖面分析和实现深度细微加工等。
王珍杨得全
关键词：离子束溅射半导体化合物
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0