王路达
- 作品数：7 被引量：9H指数：2
- 供职机构：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信交通运输工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种高性能的硅微谐振陀螺
- 2008年
- 基于谐振敏感原理,设计了硅微谐振陀螺,它具有直接的准数字式频率输出、高灵敏度、参数设计灵活等优点,其结构包括质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、双端固支音叉(DETF)、激励和检测梳齿。内外质量块结构和杠杆机构特殊设计可以实现结构解耦;质量块外置、杠杆放大结构及双DETF结构可以改善结构灵敏度。模态分析和谐响应通过ANSYS进行,公式运算和参数优化通过MATLAB实现。从仿真结果可以看出,陀螺的灵敏度值为75 mHz/(deg/s),且实现了自解耦。
- 王路达樊尚春郭占社
- 关键词：微机械陀螺谐振式高灵敏度解耦
- 一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺
- 一种自解耦高灵敏度谐振硅微机械陀螺主要包括：外质量块、内质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、DETF(double－ended tuning fork)、驱动电极、检测电极几部分。结构为轴对称图形，内外质量块都显“回”字型。内...
- 樊尚春王路达郭占社
- 文献传递
- 谐振式硅微机械陀螺设计及仿真
- 王路达
- 关键词：微机械陀螺灵敏度
- 新型谐振式微机械陀螺设计与仿真被引量：3
- 2009年
- 新型微机械陀螺采用了谐振敏感原理,其具有直接准数字式频率输出、高灵敏度、高线性、自解耦等优点。结构包括内外质量块、支撑梁、折叠梁、两级杠杆放大机构、双端固支音叉(DETF),质量块驱动梳齿、质量块反馈检测梳齿、DETF驱动和检测梳齿。采用了两级杠杆放大机构、质量块外置、框架结构等措施来提高陀螺的性能。从仿真结果可以看出,传感器灵敏度为0.309Hz/(deg·s-1)。测量范围为±300deg/s,在测量范围内,线性度为9.4×10-8。驱动方向上DETF的振幅减到外质量块振幅的2.96×10-6倍,说明陀螺具有很好的自解耦功能。
- 樊尚春王路达郭占社
- 关键词：微机械陀螺高灵敏度高线性度
- 一种新型微谐振陀螺及其灵敏度改进型(英文)
- 2010年
- 设计的新型微机械陀螺采用了谐振敏感原理,其具有直接准数字式频率输出、高灵敏度、结构设计灵活、自解耦等优点。由于灵敏度是谐振式陀螺的一个重要指标且对其他指标有重要影响,本文重点对其进行优化设计。从仿真结果可以看出,在保证其他性能的前提下,起始结构方案、改进结构方案1、改进结构方案2和最终方案的灵敏度值分别为0.080、0.210、0.341和0.5447Hz/(°/s)。通过对比可得,每次改进过程,灵敏度都有较大提高。经分析,驱动方向上DETF的振幅减到外质量块振幅的1.16×10-4。测量范围为±300°/s,在测量范围内,线性度为6.41×10-7。
- 樊尚春王路达郭占社
- 关键词：微陀螺灵敏度
- 一种高性能谐振硅微机械陀螺
- 一种高性能谐振硅微机械陀螺主要包括：质量块、蛇型支撑梁、两级杠杆放大机构、悬臂解耦机构、DETF(double－ended tuning fork)、驱动电极、检测电极几部分。结构为轴对称图形，质量块都显“回”字型。质量...
- 樊尚春王路达郭占社
- 文献传递
- 谐振式微机械加速度计设计的关键技术被引量：6
- 2008年
- 谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点。分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,建立了第一级敏感结构、杠杆机构和第二级敏感结构的数学模型,指出了实现高灵敏度加速度测量的关键技术在于支撑梁、质量块、谐振器和杠杆机构的设计。提出了一种谐振式微机械加速度计结构,进行了结构的优化设计和仿真计算,得出的性能指标:谐振频率98858Hz,Q值673.9,灵敏度24.52Hz/gn。
- 任杰樊尚春王路达
- 关键词：微机电系统微机械加速度计谐振器
