田骁
- 作品数：10 被引量：17H指数：3
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- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 湿法腐蚀的红外热像对比研究被引量：5
- 2006年
- 提出了一种研究半导体湿法腐蚀进程的红外热像法。将半导体基片浸泡于化学试剂中,利用红外热像仪探测红外腐蚀信号,并由计算机进行处理,得到热像图。对GaAs在不同配比溶剂中的腐蚀进程进行了红外热像的对比研究,结果表明:红外热像法可以观测到对比实验的显著差异,并直观地表征了基片、腐蚀剂以及腐蚀时间的相互关系。
- 范超叶玉堂焦世龙刘霖陈镇龙吴云峰王昱琳田骁
- 关键词：红外热像湿法腐蚀半导体
- 湿法腐蚀进程的红外热像学研究被引量：4
- 2006年
- 提出了一种研究湿法腐蚀进程的新方法———红外热像法。在湿法腐蚀中,金属或半导体基片浸泡在化学试剂中,由于化学能的作用,会在溶剂中产生热能,从而发出红外辐射,利用红外热像仪,将探测到的红外辐射信号送至计算机进行处理,得到热像图,从而可以对湿法腐蚀的进程进行分析。理论分析和实验结果都表明,红外热像法可以直观地观测到湿法腐蚀时显著的热扩散过程,从而对湿法腐蚀进程的监测、控制具有指导意义,同时也是红外技术应用的扩展。
- 范超叶玉堂刘霖陈镇龙焦世龙吴云峰王昱琳田骁
- 关键词：成像系统红外热像湿法腐蚀半导体
- 无掩膜激光辅助刻蚀GaAs图形中的衍射条纹分布被引量：1
- 2008年
- 以菲涅耳直边衍射理论为基础,通过大量实验;对影响激光辅助化学刻蚀图形效果最为明显的直边、宽缝和交叉三种衍射行为进行研究;获得了光强分布与衍射腐蚀条纹分布的主要特性。实验表明,直边衍射的衍射腐蚀深度最大值位于直接照明区,微微偏离阴影边区域;缝宽对宽缝衍射的腐蚀条纹特性有较大影响;交叉衍射时,受GaAS晶体取向影响,其刻蚀条纹分布不完全对称。
- 刘旭吴云峰叶玉堂刘霖陈镇龙田骁罗颖王昱琳
- 关键词：光强分布半导体
- 激光辐照下GaAs表面腐蚀液滴自然浸润过程及其边缘刻蚀特性被引量：1
- 2007年
- 研究了激光辐照下GaAs表面酸性腐蚀液滴的浸润及其腐蚀特性,实验获得了激光辐照下H_2SO_4-H_2O_2液滴在GaAs表面的浸润过程以及液滴边缘方位、晶体取向等差异对GaAs半导体表面刻蚀效果的影响,得到了有价值的结论。实验结果表明,腐蚀液液滴在GaAs表面随着时间向外扩散,腐蚀现象由中心向四周逐渐减弱,并在边缘部分出现不完全腐蚀现象;通过对同一液滴的不同位置的边缘进行观察发现液滴边缘的腐蚀图样不完全相同,由于晶体的各向异性使腐蚀图样具有明显的方向性,此结论对半导体器件的加工工艺起着重要的理论补充作用。
- 田骁叶玉堂刘霖陈镇龙罗颖王昱琳
- 关键词：GAAS刻蚀
- 一种新的激光诱导液相腐蚀法制作GaAs腐蚀孔被引量：5
- 2006年
- 提出了一种掩膜投影的激光诱导液相腐蚀方法,采用波长0.53μm的倍频Nd:YAG连续激光器、镀Cr掩膜板、H2SO4和H2O2混合溶液,在GaAs基片上制作腐蚀孔。通过对腐蚀原理的分析,对影响加工精度的溶液配比和激光功率密度进行了实验研究,得出了H2SO4∶H2O2∶H2O=4∶1∶20、激光功率密度11.7 W/cm2的最佳实验组合,并在此条件下得到了直径为30μm的高质量腐蚀孔。通过对腐蚀孔的横向与底面形状的分析,从改进实验装置和进行激光束空间整形2方面提出了改进的方法,对提高掩膜投影法的加工精度具有重要意义。
- 陈镇龙叶玉堂刘霖田骁吴云峰焦世龙范超王昱琳
- 关键词：光电子GAAS
- 激光诱导液相电极腐蚀新方法被引量：2
- 2006年
- 提出了一种激光诱导液相腐蚀新方法—电极腐蚀法。电极腐蚀法是指进行激光化学液相腐蚀时,在腐蚀溶液中添加电极,以吸引反应中间离子脱离基片表面,实现腐蚀的持续稳定进行。理论分析和实验结果都表明,电极腐蚀法可以有效地加快激光腐蚀的进程;吸附在基片表面的离子在电极作用下,快速迁移出基片表面,保证了基片表面腐蚀溶液构成的稳定,进而得到更加均匀的腐蚀表面;利用电流随腐蚀速率变化而变化的特点,使腐蚀速率和深度的直接监控转变为对腐蚀电流的间接控制,简化腐蚀控制方法。基于以上优点,电极腐蚀法可以克服现有激光腐蚀方法的诸多弊端,改善激光腐蚀性能,在特殊结构光电器件的制作和半导体的微细加工中具有广阔的应用前景。
- 陈镇龙叶玉堂刘霖范超田骁吴云峰王昱琳
- 关键词：光电子
- 半导体腐蚀进程中表面液层热对流信息的红外表征
- 2007年
- 研究了半导体腐蚀过程中液层的红外热像分布特性。经处理分析,实现了对任意时刻表面液层的热对流信息的红外表征。半导体腐蚀过程中产生的化学反应会有热量的释放或吸收,这会引起液层之间能量的交换,从而导致腐蚀液温度的变化。利用红外热像仪可以实时监测这一特性,也可为深入分析、表征液层热对流奠定基础。实验结果表明,越靠近半导体材料与腐蚀液接触面的位置,液层的温度变化越显著,且以半导体材料为中心,由内而外呈梯度状降低,水平液层间的热对流速率明显大于竖直液层间的速率;提取的红外热像截面图可以清楚地表征水平液层及竖直液层的温度变化特性。该方法对分析任意时刻液层的热对流信息具有重要的价值。
- 刘霞叶玉堂刘霖吴云峰陈镇龙罗颖田骁王昱琳
- 关键词：红外热像化学腐蚀截面热对流
- 夜间可视时钟
- 一种夜间可视时钟，包括透明罩盖、装有指针的表盘以及机壳，还具有主要由电源和发光体组成的半导体固态照明装置，电源设置在机壳中，发光体设置在所述透明钟罩与表盘之间的侧壁上，机壳面板上设置有夜视开关，夜视开关连接在电源对发光二...
- 连贵君刘中和叶玉堂田骁陈镇龙熊光成
- 文献传递
- 半导体湿法腐蚀中溶液的红外热像分布及变化特性
- 2007年
- 提出了半导体湿法腐蚀中溶液热分布及其变化特性的红外热像分析方法。该方法的实质是湿法腐蚀中伴随着热量的生成与腐蚀液的热对流,利用红外热像分布图可以有效地显示该特征。实验结果表明:在半导体腐蚀过程中,化学热以半导体材料为中心,向四周梯度状对流;向上的热对流速率明显大于水平的热对流速率;红外热像仪可以实时纪录热对流过程,并获得任意时刻、任意小区域的热对流情况,使得对湿法腐蚀过程中热对流特性的分析和理解更加直观。该方法的引入对半导体腐蚀过程中温度精确控制、腐蚀性能提高有重要的价值。
- 罗颖叶玉堂刘霖陈镇龙田骁王昱琳
- 关键词：湿法腐蚀红外热像热对流
- 半导体激光诱导液膜浸润刻蚀技术研究
- 本文提出了一种新的半导体加工技术——半导体激光诱导液膜浸润腐蚀法,它与普通化学腐蚀相比,可以有效地消除晶体取向影响,制作出更加多样化的腐蚀图形,并且精确度有很大的提高;与激光诱导气相腐蚀相比,其工艺条件更加容易实现,操作...
- 田骁
- 关键词：半导体激光刻蚀技术
- 文献传递
