谢正洋
- 作品数：4 被引量：3H指数：1
- 供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市教委重点学科建设项目更多>>
- 相关领域：电子电信生物学冶金工程更多>>
- 一种显微镜同轴观测的准分子激光加工系统
- 随着微技术的发展，MEMS加工系统逐渐进入到我们的生活之中，人们以MEMS系统视角重新对微观世界进行认识，并同时对其进行新的改造。准分子激光刻蚀技术在新型的生物芯片微技术中，为MEMS加工系统打开了新的视野。在传统微细加...
- 谢正洋
- 关键词：MEMS技术
- 文献传递
- 准分子激光变焦加工系统加工变截面微流道的变径倾角研究
- 控芯片技术由于它在生物、化学、医学等领域的巨大潜力,已经发展为一个多学科交叉的崭新的研究领域.准分子激光微加工技术因其快速、高效和可控的特点,正逐渐应用于生物芯片的加工,并有广阔的发展前景.本文将通过分析数据研究影响准分...
- 马颖陈涛谢正洋
- 单金属粉末激光烧结过程中球化与烧结的关系研究被引量：1
- 2011年
- 采用激光直接金属烧结的方法,对单一316L不锈钢粉末进行一系列烧结实验。实验表明,在较低功率和较低的扫描速度下,无需粘结剂的辅助粉末也可以顺利的烧结成型且没有宏观的裂纹缺陷和明显的变形。阐述了单组分金属烧结成型的机理,讨论了烧结316L不锈钢粉末过程中出现的各种球化现象以及对烧结成型的影响,明确了单组分金属烧结的研究思路与进一步研究的方向。
- 张强刘富荣陈继民牛奔谢正洋
- 关键词：低功率
- 一种应用于准分子激光微加工系统的同轴观测自动跟踪系统的实验研究被引量：1
- 2013年
- 提出了一套应用于准分子激光微加工同轴观测的自动跟踪系统。该系统具有一定的抗抖动能力。首先介绍了该系统的硬件组成部分:(1)显微镜的镜片改造。(2)机械控制平台的搭建,该部分内容介绍了各个硬件的功能以及它们之间的相互关系。然后简单介绍了该系统的跟踪原理,主要包括部分重点算法的介绍以及控制软件判断流程图。分析了在打开/关闭跟踪功能后,通道的加工质量差别。分析了打开/关闭跟踪功能后中心位移的偏移量差别,验证了自动跟踪的抗振动功能。最后,针对该系统功能进行了实验,成功实现了对预设曲线(对应于微通道的轨迹曲线)进行刻蚀加工的跟踪功能。
- 谢正洋陈涛马颖刘宁
- 关键词：准分子激光表面粗糙度
