谷勇强
- 作品数：24 被引量：103H指数：7
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新工程资助项目吉林省科技发展计划基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 一种双柔性自适应抛光磨头
- 本发明的一种双柔性自适应抛光磨头属于光学冷加工技术领域，目的在于解决现有技术中存在的抛光磨头表面与工件表面不匹配的问题，提高抛光质量。包括抛光主轴、连接法兰、弹簧、紧固螺栓、刚性基底、柔性层、刚性层和抛光层；所述抛光主轴...
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- 文献传递
- 固着磨料抛光头及其抛光方法
- 固着磨料抛光头及其抛光方法，涉及光学加工领域，解决了现有机械小工具抛光方法存在的抛光头制作工艺复杂、抛光精度低的问题，固着磨料抛光头，包括：成圆饼状的固着磨料抛光头基体，设置在固着磨料抛光头基体中心的安装孔，等间距均匀分...
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- 文献传递
- 一种清洗和镀膜为一体的夹具
- 一种清洗和镀膜为一体的夹具，属于光学镀膜技术领域，解决了现有技术中在清洗和镀膜的过程中造成元件污染和崩边的技术问题；包括镜座S1、镜座S2、连接构件、清洗支撑构件和固定构件；镜座S1和镜座S2为圆环形，在镜座S1和镜座S...
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- 双球面法标定立式参考球面的精度分析被引量：4
- 2012年
- 采用双球面法对立式Fizeau干涉仪的参考球面进行标定以确定由重力、安装夹持力等导致的面形形变量,提高立式光学系统中光学元件的面形检测精度。首先,推导了双球面法标定算法;进而,理论分析和模拟计算了影响检测精度的环境、重力、安装夹持力等因素;最后,利用双球面法对立式Fizeau干涉仪的参考球面进行标定,并利用误差合成理论分析实验结果。实验结果显示,利用双球面法标定F/1.5的立式Fizeau干涉仪参考面的精度为2.3nm。其中,算法本身以及实验操作引起的测量重复性不大于0.7nm,包含环境误差时的重复性低于1.2nm;重力导致的面形形变约为0.9nm,标准镜安装导致的面形形变约为1.7nm。结果论证了双球面法具有很高的标定精度;环境对检测精度的影响与干涉腔长度有关,长度增加时影响很明显;立式工作时,重力、安装等因素导致的标准镜参考球面的面形形变很大,在高精度使用前必须进行标定。
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- 关键词：绝对测量
- “日盲”紫外ICCD的信噪比被引量：7
- 2009年
- 分析了"日盲"紫外增强型电荷耦合装置(SBUV-ICCD)噪声的来源及特点。考虑SBUV-ICCD工作时系统增益高,单光电子的响应会扩散到CCD邻近像素中去,故将SBUV-ICCD作为线性时不变系统,引入单光电子冲激响应到SBUV-ICCD信噪比计算中,利用傅里叶变换原理推导出其信噪比模型。模型采用了二维高斯函数拟合SBUV-ICCD单光电子冲激响应的方法,较传统间接分析的方法更为简单适用。分析了增益对SBUV-ICCD信噪比的影响,测量了辐照度在10.3～810.6pW/cm2内变化时SBUV-ICCD的信噪比。实验结果表明,该模型的标准差为0.78,可用于SBUV-ICCD的性能分析。
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- 关键词：信噪比
- 一种双柔性自适应抛光磨头
- 本发明的一种双柔性自适应抛光磨头属于光学冷加工技术领域，目的在于解决现有技术中存在的抛光磨头表面与工件表面不匹配的问题，提高抛光质量。包括抛光主轴、连接法兰、弹簧、紧固螺栓、刚性基底、柔性层、刚性层和抛光层；所述抛光主轴...
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- 文献传递
- 投影光刻物镜光学元件的离子束精修技术研究
- 随着大规模集成电路制造水平的发展，光刻机的地位日益突出。投影光刻物镜系统是光刻机的核心部分，为完成具有高NA、大视场投影光刻物镜的研制，对系统使用的光学元件的面形精度要求极高。本文主要研究利用离子束溅射技术，制造出面形精...
- 谷勇强
- 关键词：投影光刻物镜计算全息非球面加工
- 文献传递
- 计算全息法标定抛物面精度分析被引量：3
- 2011年
- 非球面高精度检测是目前光学检测研究的热点和难点之一。计算全息(CGH)技术是非球面检测的重要方法,但检测精度受到许多因素的影响。对CGH检测抛物面的误差进行了深入研究。应用Zemax软件对各种检测误差进行模拟计算,利用CGH对抛物面面形进行实际测量,对测量结果中较大的透射波前误差、彗差、球差等进行分析,并将CGH法与共焦小球法的检测进行了结果对比。结果表明,CGH法的设计和制造精度很高,标定基底的透射波前后,理论检测误差均方根(RMS)值低于4.2nm。实际检测中,CGH的离焦和抛物面偏心会造成较大的测量误差,精密调整后的测量误差RMS值优于4.5nm。
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- 应用离子束修正高精度CGH基底被引量：2
- 2016年
- 计算全息图(CGH)作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测中,但CGH的基底误差直接限制了非球面的检测精度。为了获得超高精度的CGH基底,提出了应用离子束修正CGH基底的加工工艺。采用不同束径的离子束去除函数对一边长152 mm(有效口径140 mm圆形区域)、厚6.35 mm的正方形熔石英CGH基底分别进行了精抛、精修和透射波前修正实验。经过总计7轮的迭代修正,最终获得了透射波前为PV值20.779 nm、RMS值0.685 nm的超高精度CGH基底。实验结果表明:应用离子束修正高精度CGH基底的加工工艺具有较大优势,不仅具有较高的加工效率而且可以获得超高的加工精度。
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- 关键词：光学制造离子束计算全息图
- 光学非球面元件的变形加工方法
- 光学非球面元件的变形加工方法，涉及光学加工领域，解决了现有光学非球面元件加工方法存在的加工时间长、成本高的问题。本发明针对所要加工的光学非球面元件设计一种特制的真空工装，使用真空装卡的方式，在真空装卡状态下光学非球面元件...
- 代雷陈华男闫丰谷勇强隋永新杨怀江
