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黄浩
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心
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相关领域:
电子电信
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合作作者
张维佳
北京航空航天大学理学院材料物理...
吴小文
北京航空航天大学理学院材料物理...
钟立志
北京航空航天大学理学院材料物理...
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北京航空航天...
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钟立志
1篇
吴小文
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黄浩
1篇
张维佳
传媒
1篇
材料工程
年份
1篇
2005
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Ge_(1-x)C_x薄膜的制备及红外特性的研究
被引量:2
2005年
利用等离子体化学气相沉积(PECVD)法制备出Ge1-xCx薄膜,并系统地研究了工艺参数对薄膜成分的影响,以及不同组分Ge1-xCx薄膜的红外光学特性.结果表明,薄膜中的C含量随着CH4/GeH4气体流量比的增大而增大;薄膜的红外折射率随组分的不同在2~4范围内变化;薄膜的沉积速率随射频功率增大而增大,但当功率达到60 W以后其变化不明显;沉积速率随温度的增加而减少;该薄膜具有透长波红外的性能.
吴小文
张维佳
钟立志
黄浩
关键词:
PECVD
红外特性
沉积速率
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