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黄浩

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：北京航空航天大学理学院材料物理与化学研究中心更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇红外
  • 1篇红外特性
  • 1篇PECVD
  • 1篇沉积速率
  • 1篇X

机构

  • 1篇北京航空航天...

作者

  • 1篇钟立志
  • 1篇吴小文
  • 1篇黄浩
  • 1篇张维佳

传媒

  • 1篇材料工程

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Ge_(1-x)C_x薄膜的制备及红外特性的研究被引量：2
2005年
利用等离子体化学气相沉积(PECVD)法制备出Ge1-xCx薄膜,并系统地研究了工艺参数对薄膜成分的影响,以及不同组分Ge1-xCx薄膜的红外光学特性.结果表明,薄膜中的C含量随着CH4/GeH4气体流量比的增大而增大;薄膜的红外折射率随组分的不同在2～4范围内变化;薄膜的沉积速率随射频功率增大而增大,但当功率达到60 W以后其变化不明显;沉积速率随温度的增加而减少;该薄膜具有透长波红外的性能.
吴小文张维佳钟立志黄浩
关键词：PECVD红外特性沉积速率
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