吴旭
- 作品数：6 被引量：12H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 多线切割机张力控制系统的分析与校正被引量：1
- 2016年
- 针对原多线切割机设计中控制系统稳定性差的问题,建立了张力控制系统的模型,分析了钢丝拉伸变形对于控制系统稳定性的影响,提出了新的用于产生钢丝张力的伺服电机的转矩控制方案,并通过理论分析和实际使用证明,改进后的控制方法有效提高了张力控制系统的稳定性,满足了设备的使用要求。
- 吴旭姜家宏田洪涛张为强
- 关键词：多线切割机稳定性
- 高速浮辊张力控制系统的研究被引量：5
- 2007年
- 针对高速浮辊张力控制机构的数学模型进行了分析,并采用张力传感器、力矩伺服电机及运动控制平台构成张力闭环控制实验装置,实现了在高速走线过程中对张力的控制,并对影响张力控制的因素进行了分析。
- 吴旭
- 关键词：闭环控制伺服电机
- 基于Spirit解析器框架的DXF文件解析技术被引量：2
- 2012年
- 提出了一种有效解析DXF文件的新方法,新颖之处在于包含了从特定领域建模过程获取的模型中自动生成代码思想。它基于开源的Boost Spirit解析器框架,举例阐释了本技术。结果表明,与通常的纯手工编码方法相比,其代码倾向于更加简洁、高效和优雅。本技术可广泛应用于其它CAD/CAM数据文件格式的解析处理。
- 孟凡辉王宏智吴旭
- 关键词：特定领域建模
- 多线切割机排线方法研究被引量：2
- 2010年
- 介绍了一种用于多线切割机的线轮排线方法、及其排线控制系统,该方法适用于多线切割机高速单向或往复工作时的线轮排线工作,具有实现简单,工作可靠等优点,已在新型300mm多线切割机上成功应用。
- 吴旭张为强孟凡辉
- 关键词：排线PLC伺服电机多线切割机
- 多线切割机砂浆混合搅拌理论研究被引量：1
- 2010年
- 在针对目前太阳能行业和半导体行业普遍使用多线切割机切割单晶硅和多晶硅所使用的砂浆即SiC微粉与工作介质—轻质油混合搅拌而成的悬浮液,定量和定性剖析了混合搅拌的概念、分类、微观机理,并指出混合搅拌达到均匀混合的检验条件和方法。
- 赵雷靳永吉吴旭
- 关键词：多线切割机砂浆搅拌
- 基于FPGA的CMP电涡流终点检测装置设计被引量：1
- 2017年
- 为实现对晶圆表面金属层的化学机械抛光(CMP)过程中的终点检测和对抛光速率进行监控的要求,设计了一种基于电涡流测量原理的测量装置;该装置以FPGA器件作为控制核心,由其控制高速D/A转换器生成正弦交流信号,并驱动测量电桥;由于测量线圈产生的交变磁场在晶片金属薄膜上产生电涡流,引起测量线圈的阻抗发生变化;通过测量相应的阻抗变化产生的信号,可以计算出相应的晶片表面金属薄膜的厚度;实验表明该装置可以满足对晶圆表面100~1 000nm厚度金属层的测量要求。
- 吴旭王东辉杨元元
- 关键词：电涡流化学机械抛光锁定放大器FPGA
