宋青林
- 作品数：25 被引量：61H指数：6
- 供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术理学机械工程一般工业技术更多>>
- 集成传感器非线性电阻网络分析及应用
- 在国家自然科学基金的资助下,该文选择了'集成传感器非线性电阴网络分析及应用'这一贴近工程实际的课题,具有重要的实用价值.该文首先研究压力传感器非线性电阻网络理论及其处理方法.该文首次发现了电桥输出灵敏度电压非线性现象.依...
- 宋青林
- 关键词：压力传感器热灵敏度漂移
- 文献传递
- Si3N4微尺度薄膜的热物性
- 2003年
- Si3N4薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中，其热物性在某些器件中显得很重要，为了研究Si3N4薄膜的热容、辐射、对流等热物性，文中设计出一种悬膜结构，并从理论上分析了此结构的传热机理，实验中利用微机械加工技术制作出不同尺寸和厚度的Si3N4微尺度悬膜，并通过测试得到了Si3N4薄膜的热学参数。
- 宋青林夏善红陈绍凤张建刚
- 关键词：热物性热容
- 薄膜热导率测量结构的研究
- 提出了一种用于薄膜热导率测量的微器件。利用微机械加工技术制作出相应的结构,其桥状薄膜的面积为800μm×2000μm,悬梁的面积为30μm×100μm,薄膜电阻经悬梁穿过氮化硅薄膜用于加热和测温。薄膜上的热流和温度分布十...
- 宋青林夏善红陈绍凤吕耀
- 关键词：热导率
- 文献传递
- 用于微小热容测量的结构及方法
- 本发明涉及测量结构及方法，特别涉及用于小热容的测量结构及方法。该结构由衬底、悬梁和样品台组成，样品台通过悬梁与衬底相连，其样品台由支撑悬膜、薄膜电阻及绝缘层三部分组成；支撑悬膜上表面有薄膜电阻，支撑悬膜和薄膜电阻上方为绝...
- 夏善红宋青林陈绍凤
- 文献传递
- 压力传感器灵敏度电压非线性分析被引量：7
- 2004年
- 实验发现压阻型压力传感器的压力输出信号与外加电压并不是线性关系,存在着灵敏度电压非线性。本文指出组成压阻型压力传感器电桥的电阻受温度、输入电压、压力的共同影响,在此基础上提出非线性扩散电阻的多维模型。依据此理论模型,对灵敏度电压非线性现象的成因进行了理论分析,并利用其中受电压控制的电压源及其扩展功能来模拟非线性扩散电阻在电路的等价作用,进而显示出压力传感器灵敏度电压非线性的成因。
- 宋青林孙以材多旭亮
- 关键词：压力传感器
- 一种用于薄膜热容测量的微热量计的设计与制作被引量：2
- 2003年
- 目前已发现并证实薄膜的热导率和热扩散率存在着尺寸效应。本文为了研究薄膜的另一个热学性质比热是否也具有尺寸效应 ,提出了一种用于薄膜热容测量的新方法 ,其相应的实验器件为一悬膜结构。从理论上阐述了其测量原理 ,结合ANSYS热学模拟设计并利用微机械加工技术制作出SiO2 悬膜结构 ,悬膜由两个悬臂支撑 ,在悬膜上制作了Pt薄膜电阻同时用于加热和测温。这种结构加快了样品、悬膜和加热 /测温电阻之间的热传递 ,减小了悬膜的热损失 ,提高了测量精度。
- 宋青林崔铮夏善红陈绍凤
- 关键词：比热尺寸效应
- Si<,3>N<,4>微尺度薄膜比热特性测量研究
- 比热是Si<,3>N<,4>薄膜重要的热学参数之一,Si<,3>N<,4>薄膜比热特性研究对热传原理传感器研究和发展以及物质微尺度热学特性的研究有重要的意义.本文设计并制作出一种悬膜结构,从理论上分析了此结构的传热机理,...
- 宋青林夏善红陈绍凤张建刚
- 关键词：比热温度系数
- 文献传递
- 薄膜热学特性研究
- 当器件的尺寸达到微/纳米尺度时,其热学特性与体材料相比将发生变化,出现尺寸效应.研究已证实薄膜的热导率和热扩散率存在着尺寸效应,但相应的理论研究有待进一步深入;而对薄膜比热容的尺寸效应仅从理论上作了初步研究,还有待进行实...
- 宋青林
- 关键词：尺寸效应微机械加工热导率比热容
- 文献传递
- 二极管、可变电阻器并联热敏基元特性分析及其在传感器中的应用被引量：4
- 2001年
- 提出了由二极管与可变电阻器组成热敏基元 ;它可接于网络任何节点和地之间。分析了它的温度特性和作用 ,并用实验验证了理论分析的正确性。
- 宋青林孙以材多旭亮
- 关键词：二极管可变电阻器压力传感器
- Si<,3>N<,4>微尺度薄膜的热物性
- Si<,3>N<,4>薄膜被广泛应用于微机械和微电子器件中,其热物性在某些器件中显得很重要.为了研究Si<,3>N<,4>薄膜的热容、辐射、对流等热物性,文中设计出一种悬膜结构,并从理论上分析了此结构的传热机理.实验中利...
- 宋青林夏善红陈绍凤张建刚
- 关键词：热物性热容四氮化三硅薄膜物理学
- 文献传递
