崔祥彦 作品数:5 被引量:22 H指数:4 供职机构: 北京京东方光电科技有限公司 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
液晶阵列四次光刻工艺中光刻胶灰化工艺的研究 被引量:5 2008年 光刻胶的灰化是TFT四次光刻工艺的核心工艺之一,本文研究了TFT四次光刻工艺中光刻胶的灰化工艺,得到了功率、气压、灰化气体对光刻胶灰化速率和均匀度的影响趋势。研究表明,纯O2气体对光刻胶有很好的灰化作用,但其会导致下一层金属Mo的表面发生氧化,从而阻止下层金属的刻蚀。在灰化气体中加入少量SF6,能有效地去除生成的金属氧化物,提高下层金属的刻蚀速率。在优化的灰化工艺条件下,制作的TFT具有良好的电学特性。 刘翔 王章涛 崔祥彦 邓振波 邱海军关键词:薄膜晶体管 灰化 光刻胶 一种薄膜晶体管液晶显示器件的阵列结构 本发明涉及一种薄膜晶体管液晶显示器件的阵列结构,包括:玻璃基板,形成于玻璃基板上的栅线,栅电极,源、漏电极,数据线以及像素电极,其中源、漏电极与栅电极存在交叠部分,其特征在于:漏电极在栅电极上可变交叠区的平均宽度小于必然... 崔祥彦 严太镕 周爽文献传递 白光有机电致发光器件最新研究进展 被引量:6 2008年 最近白光有机电致发光二极管(White organic light-emitting diode,WOLED)的研究和应用取得了长足的发展。由于WOLED本身无可比拟的优点,用于全色彩有机电致发光显示、照明光源以及液晶显示器的背光源。根据白光器件的不同结构,综述了WOLED最新研究进展,探讨了其中的优缺点,总结了WOLED最新应用成果,并提出了发展高效、稳定的白光器件的新思路。 刘翔 邓振波 王章涛 崔祥彦 贾勇关键词:有机电致发光 白光 电致发光器件 薄膜晶体管阵列四次光刻工艺中光刻胶灰化工艺的研究 被引量:6 2008年 光刻胶灰化是薄膜晶体管四次光刻工艺的核心工艺之一。初步研究了用纯O2对光刻胶进行灰化的工艺,影响光刻胶灰化的主要因素有功率、气压和灰化气体的流量,经过一组正交实验,得到了功率、气压、灰化气体的流量对光刻胶的灰化速率和均匀度的影响趋势。结果表明,功率是影响灰化速率的主要因素。通过不断地优化光刻胶的灰化条件,最终得到了理想的灰化条件,即功率为10500W,气压为26.7Pa,O2的流量为2000mL/min,灰化时间为91s。 刘翔 王章涛 崔祥彦 邓振波 邱海军关键词:薄膜晶体管 光刻胶 灰化 有机薄膜晶体管(OTFT)的研究进展 被引量:5 2007年 有机薄膜晶体管(organic thin film transistor,OTFT)具有工艺简单、成本低及柔韧性良好等优点,成为下一代显示技术的研究焦点。本文综述了有机薄膜晶体管的研究现状和未来的发展趋势,比较了采用不同材料的OTFT器件的性能,总结了影响OTFT性能的两大主要因素,即栅极绝缘层与有机有源层之间的界面特性和有机有源层与源/漏电极之间欧姆接触电阻的大小,并详细综述了改善OTFT性能的最新方法和研究成果。 刘翔 邓振波 王章涛 崔祥彦 贾勇关键词:有机薄膜晶体管