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廖剑

作品数：6 被引量：1H指数：1
供职机构：电子科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 5篇敏感膜
  • 5篇叉指电极
  • 5篇传感
  • 4篇感器
  • 4篇传感器
  • 3篇气体传感
  • 3篇气体传感器
  • 3篇气体传感器阵...
  • 3篇无机复合
  • 3篇环境监测
  • 3篇传感器阵列
  • 3篇大气环境
  • 3篇大气环境监测
  • 2篇电喷
  • 1篇导电
  • 1篇三层结构
  • 1篇气流
  • 1篇气敏
  • 1篇气敏材料
  • 1篇气体浓度

机构

  • 6篇电子科技大学

作者

  • 6篇廖剑
  • 5篇周泳
  • 5篇太惠玲
  • 5篇朱涛
  • 5篇蒋亚东
  • 5篇谢光忠
  • 5篇杜晓松
  • 2篇黎威志
  • 1篇李娴

年份

  • 1篇2014
  • 1篇2013
  • 4篇2012
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
一种基于微井的气体传感器阵列及其制作方法
本发明公开了一种基于微井的气体传感器阵列及其制作方法，①所述气体传感器阵列采用MEMS技术，在SOI晶片表面制备叉指电极，在叉指电极上用SU-8光刻胶制作了出微井隔离层，可防止制备敏感膜时不同叉指电极间敏感材料的交叉污染...
谢光忠朱涛廖剑周泳蒋亚东杜晓松黎威志太惠玲
文献传递
一种基于微井结构的气体传感器阵列及其制作方法
本发明公开了一种基于微井结构的气体传感器阵列及其制作方法，包括至少4个独立的传感器单元，所述传感器单元采用微井结构，在各微井间设有聚酰亚胺隔离层；在所述微井井内沉积有以有机薄膜、有机/无机复合薄膜或有机-无机多层膜构成的...
谢光忠蒋亚东杜晓松太惠玲朱涛周泳廖剑
文献传递
一种基于微井的气体传感器阵列及其制作方法
本发明公开了一种基于“微井”的气体传感器阵列及其制作方法，①所述气体传感器阵列采用MEMS技术，在SOI晶片表面制备叉指电极，在叉指电极上用SU-8光刻胶制作了出微井隔离层，可防止制备敏感膜时不同叉指电极间敏感材料的交叉...
谢光忠朱涛廖剑周泳蒋亚东杜晓松黎威志太惠玲
一种电导型敏感膜三层结构
本发明公开一种电导型敏感膜三层结构，属于传感技术领域，一种电导型敏感膜三层结构，包括基板和设置在基板上的叉指电极传感功能结构，其特征在于，还包括设置在叉指电极传感功能结构上且与叉指电极传感功能结构平行的敏感膜三层结构，所...
谢光忠蒋亚东杜晓松太惠玲周泳朱涛廖剑
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甲苯气体传感器的制备
VOCs（挥发性有机化合物）气体已经成为大气污染物之一，甲苯作为 VOCs中的一种，正严重的威胁着人类的身体健康和赖以生存的自然环境。检测 VOCs气体的气敏材料主要有：金属氧化物半导体材料、高分子聚合物、聚合物/无机复...
廖剑
关键词：气敏材料叉指电极
一种测试腔结构
本发明公开了一种气体传感器技术领域的测试腔结构，包括气流进口1、换能器2、内壁介质层3、敏感膜4、测试腔5、气流出口6和气泵，测试腔和气泵经毛细管连接。本发明结构缩小了测试腔体内部充气容积，在相同气体流量下，敏感膜4附近...
谢光忠蒋亚东周泳杜晓松李娴太惠玲朱涛廖剑
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