张颖
- 作品数：15 被引量：26H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信文化科学航空宇航科学技术更多>>
- 基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究被引量：1
- 2006年
- 我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原子结构则保持原掺杂结构,在梁厚度方向形成非对称掺杂,表现出压阻特性.利用该局部压阻,我们首次完成了对双端固支硅纳米梁的谐振特性的测量,其共振频率为400kHz;同时,我们对获得的低Q值进行了初步讨论.
- 赵全斌焦继伟杨恒林梓鑫李铁张颖王跃林
- 关键词：压阻检测谐振特性
- 基于“8悬臂梁-质量块”结构的新颖x轴音叉式硅微机械陀螺被引量：3
- 2007年
- 设计、制作并测试了一种新颖的x轴音叉式微机械陀螺,它以"8悬臂梁-质量块"结构来实现Coriolis力的检测,与常见的单层弹性梁-质量块结构相比,具有更好的模态稳定性;大质量块与薄弹性梁的结构设计有助于获得低机械噪声与高灵敏度.采用体硅微机械加工工艺在(111)硅晶圆上试制了基于"8悬臂梁-质量块"结构的微陀螺,由于在(111)晶向上硅的湿法腐蚀速率极其缓慢,而用氧化硅填充的限制槽限定侧向腐蚀范围,因此这套工艺能对双层弹性梁的结构尺寸进行精确控制,获得较小的模态失配.在大气环境中,该陀螺具有±200°/s的量程,角速度灵敏度为0.15mV/(°/s),分辨率约为0.1°/s.
- 段飞焦继伟王育才张颖宓斌玮李金鹏钱清王跃林
- 关键词：微机械陀螺X轴
- 大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性被引量：10
- 2005年
- 设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺 .该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼 ,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度 ,同时降低了陀螺的热机械噪声 .对陀螺噪声特性进行的分析表明 ,该陀螺具有相对很低的热噪声 .制作了陀螺芯片 ,并测试了其机械性能和噪声特性 .结果表明 ,该陀螺的噪声谱密度不超过 6 0 μV/Hz,灵敏度为 10mV/(°·s-1) .
- 陈永焦继伟王惠泉金仲和张颖熊斌李昕欣王跃林
- 关键词：陀螺微机械加工噪声
- 一种硅铝酸盐基复相发光材料及其制备方法和应用
- 本发明涉及一种硅铝酸盐基复相发光材料，其化学通式为Zn<Sub>2</Sub>Si<Sub>1‑a</Sub>A<Sub>a</Sub>O<Sub>4</Sub>‑ZnAl<Sub>2‑b</Sub>B<Sub>b</S...
- 张颖宋志棠
- 基于摄动法的微机械陀螺随机性能的统计分析被引量：4
- 2006年
- 以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象,基于随机摄动技术定量计算了微陀螺固有频率变异和检测输出电容变异的统计特征,以概率思想表达了微陀螺批量加工过程所带来的材料/尺寸随机误差对其性能的影响.通过所提出的影响因子这一概念反映了微陀螺参数变异对性能变异的敏感度.在详尽分析微陀螺众多参数影响因子的基础上获得了微陀螺最为关键的5个参数.这有限关键参数的获得,不仅为微陀螺的健壮性设计提供了方向,同时也为实际微陀螺的加工控制提供了量化的参考依据.
- 姜涛王安麟刘广军张颖焦继伟
- 关键词：微机械陀螺输出电容固有频率摄动法
- 用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计
- 2009年
- 给出了一种用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计,针对MEMS惯性器件大多采用电容量输出等特点,设计了一个低噪声运算放大器,利用该运放,设计了一种基于开关电容的电荷转移电路来将电容量转换为电压量,以便后续电路处理。采用了相关双采样(CDS)技术,较大地减少了电路和MEMS惯性器件的1/f噪声、热噪声,抑制了零漂。采用HHNEC 0.35μmCMOS工艺制造,面积为1 mm×2 mm,与MEMS器件封装在一起,并进行了实际测试,结果表明,该读出电路基本满足要求,并具有较低的噪声。
- 李金鹏焦继伟宓彬伟张颖王跃林
- 关键词：低噪声微电子机械系统相关双采样电荷转移惯性器件
- 一种硅铝酸盐基复相发光材料及其制备方法和应用
- 本发明涉及一种硅铝酸盐基复相发光材料，其化学通式为Zn<Sub>2</Sub>Si<Sub>1‑a</Sub>A<Sub>a</Sub>O<Sub>4</Sub>‑ZnAl<Sub>2‑b</Sub>B<Sub>b</S...
- 张颖宋志棠
- 一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计被引量：1
- 2007年
- 提出了一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型三明治式硅微机械电容式加速度计,用微机械加工工艺在(111)硅片上制作出了具有信号输出的器件.该加速度计的惯性质量块由同一(111)硅片上下表面对称分布的8根悬臂梁支撑.这些悬臂梁是利用(111)硅在KOH溶液中的各向异性腐蚀特性结合深反应离子刻蚀(DRIE)实现的,其尺度精确可控,保证了结构的对称性.该加速度计的谐振频率为2·08kHz,品质因子Q为21·4,灵敏度为93·7mV/g.
- 王育才焦继伟段飞张颖宓斌玮李金鹏钱清王跃林
- 关键词：微加速度计微机械加工各向异性腐蚀
- 基于弹性体模型的微机械陀螺检测电容解析方法被引量：6
- 2006年
- 以体微机械加工技术制备的音叉式振动型微机械陀螺为研究对象,以提高其检测电容的解析精度为目的,利用多自由度动态有限元解析理论,首次提出了基于弹性体模型的检测电容解析法。实现了考虑制备工艺、加工手段等引起的微陀螺结构缺陷造成的性能、品质变异仿真,以及面向微陀螺最终输出性能———检测电容的动力学特性与检测特性的分析。此方法基本解决了刚体结构微机械陀螺简化模型的低精度缺陷问题,为实现其多物理场工作环境的表征、结构拓扑形态的设计、复杂动态性能的仿真等工程化目标提供了可能。
- 姜涛王安麟张颖焦继伟
- 关键词：微机械陀螺多自由度数学模型
- 基于模糊数学规划的文本分类方法
- 文本分类一直是智能科学研究中的重要问题，它将未分类文本划分到相关的类别。然而,实际应用中的文本往往会与多个类别相关,因此,不能单纯地仅将其划分到一个类别。
本文针对这类问题，提出了基于模糊数学规划思想的分类方法...
- 张颖王文杰黄瑞史忠植
- 关键词：数据挖掘文本分类计算机数学
- 文献传递
