彭中良
- 作品数：4 被引量：11H指数：2
- 供职机构：华中科技大学光学与电子信息学院武汉光电国家实验室更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 垂直电导结构非致冷红外探测器研究
- 随着超大规模集成电路和微电机械加工（MEMS）技术的发展，红外探测器技术取得了惊人的进展，非致冷红外探测器的性能不断提升，使其在军事武器和民用领域都呈现出广阔的应用前景。虽然非致冷红外探测器价格相对低廉，但是相比制冷型探...
- 彭中良
- 关键词：非致冷红外探测器性能表征
- 文献传递
- 一种垂直谐振腔超窄带红外发射光源
- 本发明公开了一种垂直谐振腔超窄带红外发射光源，包括基底材料和在基底材料上制作的一维光子晶体，其特征在于：它还包括微桥结构和电源，在一维光子晶体和微桥结构之间有谐振腔，微桥结构与一维光子晶体相对的面为金属材料，微桥结构通过...
- 赖建军梁华锋彭中良
- 文献传递
- 用于气体传感的一维光子晶体窄带红外发射光源被引量：7
- 2009年
- 基于有限一维光子晶体表面电磁波理论,以探测CO2为例,设计了一个中心波长为4.23μm,发射率大于99%,发射谱线半高宽FWHM=49.9nm的窄带准相干红外发射光源.采用传输矩阵方法对这种光源进行了理论分析,并用时域有限差分(FDTD)方法对器件垂直入射时的反射谱和稳态电场分布进行了数值仿真,仿真光谱特征和理论计算得到的结果吻合,证明了这种窄带红外发射光源的可行性.
- 梁华锋赖建军彭中良易仙周治平
- 关键词：光子晶体传输矩阵时域有限差分
- 基于MEMS工艺的集成红外气体传感器工艺研究被引量：4
- 2014年
- 研究了一种采用MEMS技术实现的含有红外发射源和探测单元的片上集成红外气体传感器芯片。通过理论分析证明了探测器和红外发射源可以集成在同一衬底上的可行性,采用正面刻蚀和背面ICP深刻蚀硅工艺实现红外发射元和探测单元的悬空热隔离结构,可以使红外发射源和探测器同时工作在较好的性能状态下。通过对红外气体传感器的红外发射源和探测单元的测试,表明两种单元均可以正常工作,验证了这种集成工艺的可行性。
- 朱腾飞李辉李明燃王彬彭中良赖建军
- 关键词：红外气体传感器红外探测器
