徐栋
- 作品数：7 被引量：17H指数：3
- 供职机构：中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室更多>>
- 发文基金：霍英东基金国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 复合量程微加速度计的研究被引量：9
- 2006年
- 在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难满足整个过程的测试要求.针对类似的需求,介绍了一种由四个压阻式微加速度计组成的复合量程微加速度计,四个微加速度计量程分别为100g、500g、1000g和2000g.除了主要介绍微加速度计阵列的设计、制造和测试外,还着重介绍了低量程传感器在高过载环境下的结构防护问题.线性测试结果表明该复合量程微加速度计具有较好的线性度,因而可以同时在测量四个不同的量程的加速度值.
- 熊继军毛海央张文栋徐栋郭涛
- 关键词：压阻式体硅工艺线性度
- 压阻式微加速度计的结构优化设计被引量：2
- 2007年
- 在过去对技术系统的设计优化通常是根据设计者自己的经验,通过改变一个系统参数来分析系统性能。但随着系统参数的日益增加,这种类型的优化变得越来越困难。鉴于此,本文介绍了利用ANSYS软件对压阻式微加速度计进行结构优化的设计的方法,通过对压阻式微加速度计原结构和优化后的结构进行分析比较,加速度计的结构灵敏度提高了一个数量级,输出灵敏度提高了4倍以上。本文也对微加速度传感器的工作原理和有限元优化的相关概念作了简单的介绍。
- 李丽华郭涛熊继军徐栋
- 关键词：微加速度计压阻式有限元优化结构优化
- 复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计
- 为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.本文设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方...
- 毛海央熊继军张文栋郭涛徐栋
- 关键词：压阻式传感器
- 文献传递
- 硅微加速度传感器阵列的低误差静态标定被引量：1
- 2007年
- 本文介绍了加速度传感器阵列的结构设计和工作原理,利用离心机的调心原理,实现了对加速度传感器阵列的低误差静态标定,给出了标定数据和分析结果。
- 徐栋郭涛熊继军
- 关键词：加速度传感器阵列调心
- 压阻式微加速度计动态特性与阻尼的关系研究被引量：4
- 2007年
- 采用微机械加工工艺制作的压阻式微加速度计在测试过程中经常出现动态特性欠佳甚至于结构损坏的现象,在压阻式微加速度计中,合理设计阻尼参数有助于改善传感器的动态特性。将压阻式微加速度计简化为二阶模型,定性分析了系统动态特性与阻尼之间的关系,研究了压阻式微加速度计结构中阻尼的设计和控制方法,仿真、比较了带不同阻尼参数传感器系统的动态特性,并通过实验验证了仿真分析的正确性。
- 毛海央熊继军张文栋徐栋范波
- 关键词：阻尼二阶系统动态特性
- 复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计被引量：6
- 2006年
- 为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时,复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比.
- 毛海央熊继军张文栋郭涛徐栋
- 关键词：压阻式二阶系统阻尼
- 复合量程微加速度计的研究
- 在同一个物理过程中往往存在相差上数十倍甚至上万倍的多个加速度值需要测量,例如,分析弹体在发射和飞行过程中的受力情况,既需要测试发射过程中上万个g的加速度,也需要测试飞行过程中几个g的加速度.在这些场合用同一个加速度计很难...
- 熊继军毛海央张文栋徐栋郭涛
- 关键词：压阻式体硅工艺线性度传感器
- 文献传递
