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李明远
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
哈尔滨学院理学院物理系
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发文基金:
黑龙江省教育厅科学技术研究项目
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相关领域:
理学
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合作作者
杜凯
哈尔滨学院理学院物理系
谭凯
哈尔滨学院理学院物理系
杨幼桐
哈尔滨学院理学院物理系
宋国利
哈尔滨学院理学院物理系
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等离子体
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2002
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冷等离子体中的Fokker-Planck方程
被引量:1
2002年
冷等离子体高的活性,可以引起多种化学反应或物理掺杂,对于低温下材料表面的改性有着较大优势。讨论了描写冷等离子体输运过程的Fokker-Planck方程,同时提出了目前Fokker-Planck方程描写存在的困难以及解决的可能途径。
杜凯
宋国利
谭凯
杨幼桐
李明远
关键词:
冷等离子体
FOKKER-PLANCK方程
表面改性
输运过程
分布函数
低压射频等离子体实验研究
被引量:1
2002年
文章提出了低压射频等离子体实验设计体系,应用飞行时间谱仪和Langmuir单探针,测得Langmuir型V-I曲线,其中包括等离子体温度信息。
杜凯
李明远
关键词:
等离子体
飞行时间谱仪
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