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李超波

作品数：343 被引量：152H指数：7
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 274篇专利
  • 52篇期刊文章
  • 14篇会议论文
  • 2篇科技成果

领域

  • 41篇电子电信
  • 23篇自动化与计算...
  • 18篇理学
  • 15篇一般工业技术
  • 8篇电气工程
  • 7篇金属学及工艺
  • 3篇化学工程
  • 2篇机械工程
  • 2篇文化科学

主题

  • 53篇离子注入
  • 49篇等离子体
  • 38篇衬底
  • 36篇原子层沉积
  • 32篇氧化锌薄膜
  • 28篇金属
  • 27篇等离子
  • 26篇共掺
  • 25篇硅衬底
  • 24篇电极
  • 24篇受主
  • 23篇半导体
  • 23篇掺杂
  • 22篇等离子体浸没...
  • 22篇离子
  • 19篇红外
  • 18篇注入机
  • 18篇纳米
  • 17篇感器
  • 15篇阵列

机构

  • 339篇中国科学院微...
  • 8篇中国科学技术...
  • 6篇中国科学院大...
  • 3篇昆明理工大学
  • 3篇中国科学院长...
  • 2篇兰州大学
  • 2篇山东大学
  • 2篇浙江大学
  • 2篇中国科学院
  • 2篇北京自动测试...
  • 2篇中国科学院嘉...
  • 1篇华中科技大学
  • 1篇北京交通大学
  • 1篇山东科技大学
  • 1篇中国石油大学...
  • 1篇嘉兴科民电子...
  • 1篇中芯国际集成...

作者

  • 342篇李超波
  • 199篇夏洋
  • 84篇解婧
  • 71篇李勇滔
  • 52篇刘杰
  • 49篇汪明刚
  • 46篇石莎莉
  • 45篇卢维尔
  • 41篇陈波
  • 39篇万军
  • 36篇李楠
  • 32篇饶志鹏
  • 32篇夏洋
  • 31篇屈芙蓉
  • 30篇刘邦武
  • 29篇陈大鹏
  • 27篇张阳
  • 26篇刘键
  • 22篇窦伟
  • 21篇董亚斌

传媒

  • 7篇半导体技术
  • 5篇物理学报
  • 5篇电子工业专用...
  • 3篇发光学报
  • 2篇Journa...
  • 2篇实验力学
  • 2篇激光与光电子...
  • 2篇无机材料学报
  • 2篇功能材料
  • 2篇仪表技术与传...
  • 2篇压电与声光
  • 2篇现代电子技术
  • 2篇真空科学与技...
  • 2篇2010年全...
  • 2篇第十六届全国...
  • 1篇北京科技大学...
  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇太阳能学报
  • 1篇电子工艺技术
  • 1篇金属热处理

年份

  • 6篇2024
  • 10篇2023
  • 16篇2022
  • 11篇2021
  • 24篇2020
  • 7篇2019
  • 7篇2018
  • 14篇2017
  • 33篇2016
  • 21篇2015
  • 41篇2014
  • 58篇2013
  • 35篇2012
  • 18篇2011
  • 15篇2010
  • 3篇2009
  • 6篇2008
  • 7篇2007
  • 6篇2006
  • 4篇2005
共 343 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
离子注入系统
本发明公开了一种离子注入系统，包括一设有加热盘的基片台，所述基片台包括第一部分和第二部分，其中所述第一部分位于所述离子注入腔室内，用于给所述离子注入安置待注入样片；所述第二部分位于所述离子注入腔室外，与所述脉冲电源连接；...
窦伟李超波邹志超
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晶圆黏着键合技术研究进展及其应用
晶圆黏着键合方法优点是工艺温度低,与标准IC工艺兼容,能使键合表面平坦化,同时还能够补偿表面小直径的微粒,工艺相对简单,成本低,已逐渐成为微电子和MEMS制造中比较重要的工艺。概括论述了黏着键合技术的基本原理,阐述了黏合...
罗巍屈芙蓉李超波夏洋
关键词：三维集成电路
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原子层沉积技术中电场对ZnO薄膜结晶性能的调制研究
本文采用一种可变电场调制的原子层沉积技术(E-ALD)制备了氧化锌(ZnO)薄膜。在前驱体脉冲时，通过施加不同大小和方向的电压，可以对制备所得ZnO薄膜的晶体择优取向和结晶性能进行可控调制。当在锌源脉冲时施加正电压，氧源...
卢维尔贾毅李超波夏洋李楠张艳清
关键词：ZNO薄膜原子层沉积
一种3D打印装置
本发明公开了一种3D打印装置，应用于3D打印领域，该装置包括：用于产生激光束的激光器；设置于激光器的激光束出射方向的准直透镜，聚焦透镜，设置于准直透镜的准直后光束出射方向；激光传输光纤，激光传输光纤的一端设置于聚焦透镜的...
王欢符庭钊崔绍晖李超波夏洋
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一种氮化锌薄膜的制备方法
本发明公开了一种氮化锌薄膜的制备方法，包括如下步骤：（1）将衬底放置于原子层沉积设备反应腔中；（2）向原子层沉积设备反应腔中通入含锌前驱体源，含锌前驱体源中的锌原子吸附于衬底表面；（3）向原子层沉积设备反应腔中通入含氮前...
解婧李超波夏洋
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利用原子层沉积制备薄膜的方法
本发明公开了一种利用原子层沉积制备薄膜的方法，所述方法通过前驱体源及温度调控数据库来识别前驱体源是否为原子层沉积和化学气相沉积同时适用的前驱体源，并根据识别出的前驱体源来控制反应腔室和样品的温度，可以实现在保证腔室真空度...
解婧李超波夏洋
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提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法
公开了一种提高聚四氟乙烯薄膜亲水性的原子层沉积方法，包括：将聚四氟乙烯薄膜放置于原子层沉积设备反应腔中；向所述原子层沉积设备反应腔中通入四氯化碳，使得所述四氯化碳中的碳原子吸附在所述聚四氟乙烯薄膜表面；向所述原子层沉积设...
万军赵柯杰黄成强饶志鹏陈波李超波夏洋吕树玲石莎莉
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一种利用ALD制备栅介质结构的方法
本发明涉及制备集成电路器件的技术领域，具体涉及一种利用ALD制备栅介质结构的方法。所述方法，包括如下步骤：步骤(1)，将衬底放入ALD设备的腔室中；步骤(2)，在所述衬底表面生长单层HfO<Sub>2</Sub>；步骤(...
董亚斌夏洋李超波张阳
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电感耦合等离子体注入装置
公开了一种电感耦合等离子体线圈，包括两组折回而成的射频线圈；两组所述射频线圈的空间结构采用平面蛇形并联的方式，且在空间分布上严格对称，使得在同一线圈位置的射频电流的方向相同。还公开了一种设置有上述等离子体线圈的电感耦合等...
窦伟李楠李超波夏洋
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一种温压复合传感器的制作方法
本发明涉及半导体制备技术领域，尤其涉及一种温压复合传感器的制作方法，包括：形成压力敏感结构，包括：在第一衬底正面形成压阻结构，在第二衬底背面形成背腔结构；在压组结构上形成金属电极；形成温度敏感结构，具体包括：在第二衬底上...
解婧李超波林琳范涛王迪远雁刘瑞琪
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