杨涛
- 作品数:35 被引量:42H指数:4
- 供职机构:浙江理工大学更多>>
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- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术电子电信电气工程更多>>
- 基于卡尔曼滤波的PGC解调非线性误差补偿方法被引量:18
- 2020年
- 针对载波相位延迟和调制深度漂移对正弦相位调制干涉仪中相位解调精度的影响,提出一种基于卡尔曼滤波的相位生成载波(PGC)解调非线性误差补偿方法。首先建立由PGC正交分量参数构成的卡尔曼滤波状态空间观测模型。然后对PGC解调的正交分量幅值和偏置进行最优估计与修正,减小相位解调的非线性误差。最后理论分析阐述该补偿方法的原理,开展模拟干涉信号的相位解调仿真测试和正弦相位调制干涉位移测量实验。实验结果表明:提出的方法能够有效减小PGC相位解调非线性误差,实现纳米级精度的位移测量。
- 严利平周春宇谢建东陈本永楼盈天杨涛
- 关键词:卡尔曼滤波
- 基于CPLD的累次双向差动触发器型数字鉴相方法被引量:2
- 2009年
- 为实现高精度数字鉴相,通过对多种鉴相方法的分析,提出了一种新的累次双向差动触发器型数字鉴相方法,等倍增加了原计数脉冲时间间隔,从而有效提高了测量精度;基于复杂可编程逻辑器件(CPLD),设计了累次双向差动触发器型数字鉴相的实现电路。试验结果表明,利用该方法能够得到高精度测量值。
- 邬利挺严利平杨涛陈本永
- 关键词:数字鉴相触发器复杂可编程逻辑器件
- 基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的方法
- 本发明公开了一种基于法拉第旋光效应的入射光原路返回的方法。一束振动方向垂直于纸面的线偏振光经过能够旋光45°的法拉第旋光器,其偏振方向改变45°,入射至偏振分光镜,经偏振分光镜和1/4波晶片至装在被测物体上的测量平面镜,...
- 陈本永钟挺孙政荣张丽琼杨涛
- 文献传递
- 同步跟随式电磁悬浮驱动器的力学分析与测试被引量:4
- 2009年
- 设计了一种基于磁场同步跟随的多自由度电磁悬浮式微驱动器,该驱动器悬浮单元和驱动单元相互独立,在一个机构中构建了集驱动、测量和控制于一体的磁悬浮微驱动新方法.通过对该驱动器的受力分析,得到了驱动器多自由度运动状态的数学方程.采用电涡流传感器和DSP控制器,建立了该微驱动器的测控系统,实验结果表明,该驱动器具有较强的稳定性与驱动能力,验证了力学分析的正确性.
- 陈本永陈军杨涛姜伟光郭亮
- 关键词:微驱动器多自由度稳定性
- 电磁悬浮与驱动的空间微运动机械装置
- 本实用新型公开了一种电磁悬浮与驱动的空间微运动机械装置。将微操作器固定在运动体上,在运动体的四个侧面和底面分别嵌入一组永磁阵列,与每组永磁阵列对应布置一组导线阵列,当运动体底面下的导线阵列通入电流时,导线阵列产生的电磁场...
- 陈本永潘科荣王俊茹孙政荣杨涛
- 文献传递
- 磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的理论分析与建模被引量:3
- 2008年
- 提出了一种基于磁场同步跟随的新型电磁悬浮式微驱动器,解决了悬浮驱动力与横向力相互耦合的问题,可实现高精度微运动。通过理论分析,建立了该驱动器的驱动力数学模型;采用矢量磁位法、傅里叶级数法和麦克斯韦张量法完成了该驱动器的特征参数辨识,并分析了永磁体材料、尺寸、导线阵列电流大小以及气隙高度对悬浮力大小的影响,由此得到悬浮力与气隙、电流的关系。实验结果证实了理论分析与建模的正确性以及该驱动器的实际可行性。
- 陈本永潘科荣杨涛陈军姜伟光郭亮
- 关键词:微驱动器HALBACH阵列
- 激光外差干涉大范围位移和角度同时测量系统的设计与实现
- 随着微电子技术、超精密加工技术和生物医学工程等高新技术的迅速发展,对纳米测量技术及仪器提出了更高的要求,大范围、高精度的多自由度测量系统已成为纳米测量技术研究的重点,位移和角度的同时测量是实现多自由度纳米测量的关键,越来...
- 杨涛
- 关键词:激光外差干涉信号处理
- 电磁悬浮与驱动的空间微运动方法与机械装置
- 本发明公开了一种电磁悬浮与驱动的空间微运动方法与机械装置。将微操作器固定在运动体上,在运动体的四个侧面和底面分别嵌入一组永磁阵列,与每组永磁阵列对应布置一组导线阵列,当运动体底面下的导线阵列通入电流时,导线阵列产生的电磁...
- 陈本永杨涛潘科荣孙政荣王俊茹
- 文献传递
- 基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量方法
- 本发明公开了一种基于双频干涉原理的直线度及其位置的测量方法,该测量方法采用双频激光器输出含有正交线偏振光的激光束经普通分光镜分光,消偏振分光棱镜分光,渥拉斯顿棱镜分束,直角棱镜反射,渥拉斯顿棱镜透射,偏振分光棱镜分光,检...
- 陈本永张恩政严利平杨涛周砚江
- 文献传递
- 基于DSP的激光外差干涉信号处理方法被引量:5
- 2011年
- 描述激光外差干涉测量的原理,设计基于DSP的激光外差干涉信号处理方法,用DSP的捕捉单元获取参考信号和测量信号的上升沿时间差,在捕捉单元中断中计算测量信号周期,由DSP将时间差转化为相位差并得出被测位移。采用信号发生器模拟两路输入信号,在0~360°范围内进行相位差测量实验,测量结果表明标准偏差为0.041°、线性拟合相关系数为0.999 89。以20 nm为步长在0~320 nm范围内进行位移测量实验,实验结果表明标准偏差为2.46 nm、线性拟合相关系数为0.999 71,验证了所设计的信号处理方法的可行性和实用性。
- 赵思维严利平杨涛周砚江陈本永
- 关键词:激光外差干涉信号处理DSP