梁丽萍
- 作品数：3 被引量：5H指数：2
- 供职机构：国防科学技术大学光电科学与工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：生物学电子电信理学机械工程更多>>
- 光纤测头在小型气体激光器微深孔检测中的应用被引量：2
- 2011年
- 小型气体激光器腔体增益孔的直径小于1 mm,深度大于10 mm,长径比大,传统的方法很难对其进行测量。为了解决这种微深孔的测量问题,介绍了一种接触测量与光学测量相结合的方法。将末端带有发光球的光纤伸入待测孔中,在待测零件孔中做x、y方向移动,当球与孔壁接触后,会引起球心做相应的运动,利用CCD捕获发光球的球心,通过图像处理,可得出接触点处测头球心的xy坐标,拟合多点测量结果,从而实现深孔的直径、圆柱度及直线度等参数的测量。还通过亚像素边缘检测技术提高了系统的测量精度,最后采用0级标准环规对系统进行了验证,其测量结果的重复不确定度优于0.4μm。并对深度为15 mm、直径为0.6 mm的孔在三维测量显微镜上进行了测量,实验证明此测量方法为大长径比的孔的检测提供了一种可行的方法。
- 刘贱平梁丽萍黄云金世龙
- 基于空间载频外差干涉术的大曲率零件面形检测研究
- 主要研究了一种非接触检测大曲率半径光学零件表面面形的方法,提出了在平面干涉仪上运用空间载频外差干涉术进行面形检测。该方法通过对在平面干涉仪上得到的干涉图的处理和分析,得到了被测面相对指定标准球面的面形偏差,并模拟出球面干...
- 刘贱平梁丽萍金世龙
- 关键词：面形检测ZERNIKE多项式干涉条纹
- 文献传递
- 大曲率光学零件面形的空间载频外差干涉术检测被引量：3
- 2009年
- 光学零件表面面形检测的结果直接影响光学零件的质量,介绍了一种在平面干涉仪上检测大曲率球面光学零件面形的方法,通过对干涉图进行预处理、FFT提取相位、解包裹,并采用Zernike多项式拟合,得到被检球面相对平面的面形函数,与指定的球面相减后,再一次进行Zernike多项式拟合,得到了被检面相对于指定球面的面形函数,由此计算出被检球面的面形误差PV值、RMS值,N与△N,并模拟出了用球面干涉仪检测时的干涉条纹。该方法克服了接触检测的缺点,精度高,PV值的标准差σ优于λ/100,RMS值的标准差σ优于λ/700,而且可通过软件设定检测任意大曲率光学零件,为大曲率半径光学零件的检测提供了一种适用的方法。
- 刘贱平梁丽萍金世龙刘光灿
- 关键词：ZERNIKE多项式
