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梁爽
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9
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供职机构:
中国科学院物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
梁会力
中国科学院物理研究所
杜小龙
中国科学院物理研究所
梅增霞
中国科学院物理研究所
崔秀芝
中国科学院物理研究所
刘章龙
中国科学院物理研究所
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2篇
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在Si衬底上制备纤锌矿相M<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O单晶薄膜的方法
本发明提供一种在Si衬底上制备M<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O(M=Mg,Be)单晶薄膜的方法,包括:在Si衬底表面上沉积Be金属单晶薄膜;氧化Be金属薄膜以获得BeO单晶层;在BeO单晶层上...
梅增霞
梁会力
梁爽
叶大千
刘章龙
崔秀芝
刘尧平
杜小龙
文献传递
一种基于PIN异质结构的碳化硅基紫外探测材料的制备方法
本发明公开了一种p型6H-SiC(0001)衬底上基于PIN异质结构的紫外探测材料的制备方法,制备过程依次分为以下几步:在超高真空环境下热处理获得清洁表面,沉积10~100nm厚的金属氧化物绝缘层,高温沉积BeO缓冲层,...
梁爽
梅增霞
梁会力
崔秀芝
杜小龙
文献传递
MgZnO单晶薄膜的界面工程及日盲紫外探测器研制
作为第三代半导体的核心基础材料,ZnO具有非常优越的光电性能,在低阈值、高效率的短波长光电子器件领域有着极为广阔的应用前景.目前ZnO在国际上最被看好的潜在应用之一是高性能的深紫外(尤其是日盲紫外)探测器.理论上通过Mg...
梁会力
侯尧楠
刘章龙
叶大千
梁爽
梅增霞
杜小龙
Si基深紫外探测材料--MgZnO单晶薄膜的界面控制生长及器件应用研究
梁会力
杜小龙
梅增霞
侯尧楠
张庆华
谷林
梁爽
叶大千
顾长志
禹日成
一种基于PIN异质结构的碳化硅基紫外探测材料的制备方法
本发明公开了一种p型6H-SiC(0001)衬底上基于PIN异质结构的紫外探测材料的制备方法,制备过程依次分为以下几步:在超高真空环境下热处理获得清洁表面,沉积10~100nm厚的金属氧化物绝缘层,高温沉积BeO缓冲层,...
梁爽
梅增霞
梁会力
崔秀芝
杜小龙
一种在蓝宝石衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法
本发明公开了一种在蓝宝石衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法,该方法通过“表面+界面+缓冲层”的生长方法在蓝宝石衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法,具体步骤为:对蓝宝石(0001)衬底表面进行超高真空热处理结合氧等离子...
梅增霞
梁会力
梁爽
刘章龙
李俊强
侯尧楠
刘尧平
崔秀芝
张生利
杜小龙
文献传递
硅基异质结紫外探测器及其制造方法
本发明提供一种Si基异质结紫外探测器,包括:p型Si衬底;p型Si衬底上的BeO界面层;BeO界面层上的n型M<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O薄膜层,其中M为Mg或Be,0≤x≤1。本发明还提供...
侯尧楠
梅增霞
梁会力
叶大千
梁爽
杜小龙
文献传递
在Si衬底上制备纤锌矿相M<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O单晶薄膜的方法
本发明提供一种在Si衬底上制备M<Sub>x</Sub>Zn<Sub>1-x</Sub>O(M=Mg,Be)单晶薄膜的方法,包括:在Si衬底表面上沉积Be金属单晶薄膜;氧化Be金属薄膜以获得BeO单晶层;在BeO单晶层上...
梅增霞
梁会力
梁爽
叶大千
刘章龙
崔秀芝
刘尧平
杜小龙
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一种在蓝宝石衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法
本发明公开了一种在蓝宝石衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法,该方法通过“表面+界面+缓冲层”的生长方法在蓝宝石衬底上制备高质量ZnO单晶薄膜的方法,具体步骤为:对蓝宝石(0001)衬底表面进行超高真空热处理结合氧等离子...
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