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王军峰

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：西安微电子技术研究所更多>>
相关领域：电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电气工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇电阻器
  • 2篇溅射
  • 2篇溅射法
  • 2篇溅射法制备
  • 2篇薄膜电阻器
  • 2篇SIO
  • 2篇CR
  • 2篇膜电阻器
  • 1篇电路
  • 1篇混合集成电路
  • 1篇集成电路
  • 1篇TCR
  • 1篇HIC

机构

  • 2篇西安微电子技...

作者

  • 2篇陈福山
  • 2篇王军峰
  • 2篇殷小莉

传媒

  • 1篇电子元器件应...
  • 1篇2001年全...

年份

  • 1篇2002
  • 1篇2001
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
用溅射法制备混合集成电路中的Cr·SiO薄膜电阻器
2002年
介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的薄膜电阻器基片,并已投入批量生产。
王军峰殷小莉陈福山
关键词：混合集成电路溅射TCR
用溅射法制备Cr·SiO薄膜电阻器
本文介绍应用溅射工艺制备Cr·SiO薄膜电阻器的方法,通过大量的实验及不断的工艺优化,制备出了高精度、高稳定性、低TCR的HIC中的成膜电阻器基片,并已投入批量生产.
王军峰殷小莉陈福山
关键词：HIC薄膜电阻器
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