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王宗英
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1
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供职机构:
中国科学院微电子中心
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电子电信
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李胜瑞
中国科学院微电子中心
付一哲
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GaNLED芯片的制备和特性
该文对制造GaNLED芯片的工艺路线进行了初步探索,报道了采用了Pt/Ni/Au半透明薄膜P电极和Ti/Al薄膜N电极制作GaN蓝光LED台面结构芯片的研究结果。N型掺杂GaN的Pt/N/iAu欧姆接触比电阻约为2×10...
李胜瑞
王宗英
付一哲
关键词:
干法刻蚀
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