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王文举

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电气工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 2篇电机
  • 1篇单片
  • 1篇单片机
  • 1篇电机控制
  • 1篇电机控制系统
  • 1篇电机驱动
  • 1篇平面电机
  • 1篇控制系统
  • 1篇工件台
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体设备
  • 1篇AVR单片机
  • 1篇步进
  • 1篇步进电机
  • 1篇步进电机控制
  • 1篇步进电机控制...
  • 1篇磁浮
  • 1篇进电机

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇王文举
  • 1篇田知玲
  • 1篇胡晓霞
  • 1篇谭立杰
  • 1篇张继静
  • 1篇王伟

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种新型的步进电机控制系统
2011年
采用AVR单片机AT90USB646作为主控制芯片,SLA7078M作为电机驱动专用芯片,实现了一种新型两相步进电机的控制驱动系统。该方案硬件电路简单、软件编程方便,利用串口通信可以实现上位机的远程控制。实践证明该控制系统具有结构简单、精度高、稳定可靠等特点。
田知玲谭立杰胡晓霞王文举
关键词：AVR单片机步进电机电机驱动
磁浮平面电机在超精密工件台中的应用
2024年
为了提高半导体设备生产效率和整机性能,设备制造商想尽各种办法。介绍了超精密工件台三维模型,以及磁浮平面电机原理、组成、特性、技术指标与应用前景。同时阐述了超精密工件台采用磁浮平面电机,具有结构简单、高速度和高加速度、高精度、以及无污染产生等优点,使得它不但能够满足目前半导体设备技术发展的需求,也能满足未来半导体设备技术发展的需求。
王伟王文举张继静
关键词：半导体设备
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