罗玲
- 作品数：6 被引量：22H指数：3
- 供职机构：西南师范大学化学化工学院更多>>
- 发文基金：教育部科学技术研究重点项目更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺一般工业技术更多>>
- Mo_2C膜表面粗糙度随温度和时间变化规律的研究
- 2002年
- 对以羰基金属气相沉积制备的Mo2 C膜表面粗糙度进行了测量 ;在测量基础上进行统计 ,找出了表面高度分布并确定表面粗糙度随时间和温度的变化规律 .结果表明 :Mo2 C膜表面粗糙化属快速粗糙化 ,粗糙度随时间的变化具有标度函数的特征 ;
- 章娴君王显祥罗玲郑瑞伦
- 关键词：MO2C膜表面粗糙度温度
- 羰基金属气相沉积工艺条件及膜结构研究被引量：7
- 1999年
- 在Al2O3陶瓷基片上以Mo（CO）6为源采用低压冷壁式设备和金属有机气相沉积（MOCVD）方法制备Mo2C薄膜，探讨了该薄膜结构受温度、压力和沉积速率等工艺因素影响的关系．
- 章娴君吕戈罗玲
- 关键词：气相沉积沉积速率MOCVD碳化钼
- 羰基钼化学气相沉积对模具表面改性的研究被引量：5
- 2000年
- 以Mo(CO) 6 为物源在刀具钢回火温度以下实施了气相沉积超硬膜涂覆 ,经实验测试、分析 ,结果表明薄膜中含碳量是影响薄膜表观硬度的重要因素 ,并且该薄膜能改善刀具 (钻头 )的表面力学性能 。
- 吕弋章娴君罗玲郑瑞伦
- 关键词：化学气相沉积使用寿命表面改性羰基钼
- MOCVD制备的Mo_2C膜粗糙度研究被引量：3
- 2000年
- 介绍了金属有机气相沉积 (MOCVD)制备Mo2 C膜的过程和对膜表面粗糙度的测量结果 ;在测量基础上进行统计 ,找出Mo2 C膜的高差分布 ;应用非平衡统计理论导出表面高差分布公式 .结果表明实际测量与理论推导结果一致 .
- 郑瑞伦冉扬强陈洪罗玲
- 关键词：粗糙度
- 羰基钼化学气相沉积成膜机制及相关因素研究被引量：11
- 2000年
- 利用金属有机气相沉积 (MOCVD)方法 ,在经过预沉积和表面研磨处理的Al2 O3 陶瓷基片上制备多晶钼膜 .通过该薄膜的表面形态及其结构的观察分析 ,讨论了该薄膜的形成机制 .结果表明 ,基片的表面形态是影响薄膜生长成核机理的重要因素 ,基底表面的状态设计是提高成核密度 。
- 吕弋章娴君罗玲
- 关键词：MOCVD成核机理表面形态
- 羰基金属气相沉积方法进行Al_2O_3基片表面合金化研究被引量：3
- 2002年
- 利用羰基金属气相沉积的方法 ,以Fe (CO) 5和Mo(CO) 6为源 ,在Al2 O3 陶瓷基片上 ,制备了具有一定的化学组成和稳定的显微结构的Fe/Mo表面合金化层 ,大大提高了材料的表面性能 .作为表面改性的新技术 。
- 章娴君王显祥罗玲郑慧雯
- 关键词：AL2O3表面合金化羰基金属
