胡小草
- 作品数：2 被引量：20H指数：2
- 供职机构：北京航空航天大学理学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 柔性衬底ITO薄膜的制备及其光电性能研究被引量：14
- 2008年
- 在室温下,采用直流反应磁控溅射法,在聚酯薄膜(PET)衬底上镀制了高性能的ITO薄膜。为了提高薄膜与基底的结合力,溅射前采用多弧离子源对PET表面进行了等离子体清洗。研究了溅射工艺参数对ITO薄膜的光电性能和红外发射率的影响规律,探讨了ITO膜的透光和导电机理,并分析了方块电阻与红外发射率的相互关系。实验结果表明,通过等离子体清洗,ITO薄膜的结合力和光电性能都得到了改善。ITO薄膜的红外发射率和方块电阻受制备条件的影响规律具有相似之处,红外发射率随薄膜方块电阻的增大而呈增加的趋势。
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- 关键词：ITO膜直流磁控溅射光电性能红外发射率
- 大面积柔性基底TiO_2/Ag/Ti/TiO_2多层膜的制备及其光电和红外发射特性被引量：6
- 2008年
- 利用磁控溅射在柔性基底上制备了大面积的TiO2/Ag/Ti/TiO2多层膜,其中TiO2和Ag分别采用中频反应溅射和直流磁控溅射制备,同时采用Ti作为过渡层,有效地防止了在溅射最外层TiO2时对Ag膜连续性的破坏。利用紫外可见分光光度计,四探针电阻仪,扫描电子显微镜,红外比辐射率测量仪对薄膜的表面形貌和光电特性进行了表征,重点研究了不同膜层厚度对多层膜可见光透过率,方块电阻和红外发射率的影响。结果表明,Ag层厚度对多层膜的方块电阻和红外发射率有决定性的影响,而TiO2层厚度对此影响不大。
- 胡小草刁训刚郝雷
- 关键词：红外发射率
