袁凯
- 作品数：69 被引量：100H指数：7
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金电子薄膜与集成器件国家重点实验室基础研究开放创新基金青年科技基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术医药卫生文化科学更多>>
- 二氧化硅的反应离子刻蚀工艺研究被引量：9
- 2012年
- 采用CHF3、CF4、CHF3+CF4、CHF3+O2和CF4+O2五种工艺气体体系对二氧化硅(SiO2)作反应离子刻蚀实验,在确定最优刻蚀气体基础上,研究射频功率和气体流量配比对刻蚀速率、均匀性和选择比等主要刻蚀参数的影响。通过对实验结果比较分析,确定了刻蚀速率79nm/min、非均匀性4%、对光刻胶的选择比0.81的优化工艺。
- 杨光苟君李伟袁凯
- 关键词：反应离子刻蚀二氧化硅刻蚀速率
- 一种基于光电瞄具的外装表结构及测试方法
- 本发明公开了一种基于光电瞄具的外装表结构及测试方法，包括外部旋钮控制器、高精度位移传感器、信号采集分析控制主板、外装表量计算模块、外装表量修正模块、弹性件和光电探测器；外部旋钮控制器用于控制弹性件的形变，从而牵引光电探测...
- 郑兴黄剑雄李冠廷方磊郭任豪贺瑛攀刘子骥梁志清袁凯
- 文献传递
- 一种红外超材料吸波体
- 本发明提供了一种红外超材料吸波体，包括至少4个呈矩阵排列的吸波体单元，每个吸波体单元包括基底、位于基底正上方的金属层、位于金属层正上方的介质层和位于介质层正上方的十字圆环结构，十字圆环结构水平贴附于介质层表面，十字圆环结...
- 顾德恩侯剑章郭瑞王志辉王涛袁凯蒋亚东
- 文献传递
- 光敏聚酰亚胺牺牲层工艺研究被引量：8
- 2010年
- 微机电系统(Micro Electromechanical System,MEMS)作为微电子技术应用的新突破,促进了现代信息技术的发展。牺牲层技术是MEMS应用的关键。介绍了光敏性聚酰亚胺作为牺牲层材料的优势,研究了工艺中光敏聚酰亚胺的厚度控制、亚胺化过程以及牺牲层的去除。并讨论了各工艺的最优化,制备了性能稳定的悬桥结构。
- 彭自求王军袁凯何峰蒋亚东
- 关键词：牺牲层技术光敏聚酰亚胺亚胺化
- 有机波导制备工艺对乐甫波传感器性能的影响
- 2009年
- 研究了基于PMMA波导的乐甫波传感器,研究了器件的插损以及质量灵敏度随波导层厚度变化的关系。采用低浓度、低粘度的前驱溶液,多步旋涂工艺制备了PMMA波导薄膜,降低了器件的插损,实现了2.18μm的'有效厚度',器件的质量灵敏度达705cm2/g,与前人相比提高了1倍。
- 胡佳杜晓松杨邦朝谢光忠应智花蒋亚东王涛袁凯
- 关键词：乐甫波传感器插损
- 一种用于光电探测器中的动态范围读出电路
- 本发明公开了一种用于光电探测器中的动态范围读出电路，属于积分电流读出技术领域，包括相关双采样电路，所述相关双采样电路包括复位噪声消除单元以及升压单元；所述复位噪声消除单元用于对积分光电流信号进行噪声消除；所述升压单元用于...
- 袁凯张兴宏杨胜洲阙隆成吕坚刘俊
- 双牺牲层微测辐射热计最新研究进展被引量：3
- 2010年
- 通过改善结构,来研制更小尺寸、更高分辨率的器件,成为微测辐射热计研制的新趋势,而其中最普遍的做法就是使用双牺牲层。本文介绍了双牺牲层微测辐射热计研究的最新成果,即以Raytheon和DRS等为代表的两种做法,并从器件结构和工艺上比较了两种思路的优劣。
- 彭自求王军袁凯蒋亚东
- 关键词：微测辐射热计
- 一种高相变潜热氧化钒粉体及其制备方法
- 本发明公开一种高相变潜热氧化钒粉体及其制备方法，涉及热致变色材料技术领域。本发明以五氧化二钒、草酸和PVP为开始材料，通过水热合成法制备出PVP改性的B相VO<Sub>2</Sub>纳米粉体；然后对PVP改性B相VO<S...
- 李亚涛顾德恩林丽成马永海蒋亚东袁凯
- 文献传递
- 一种氧化钒热敏薄膜噪声测试方法
- 本发明公开了一种氧化钒薄膜低频微弱噪声测试方法，该方法包括：电源电路适配设计；在测试电路中采用可选择的电流或电压放大电路设计，这个设计区别于的单一的进行电流或者单一的电压放大，本设计可以对两种放大方式进行选择以及彼此之间...
- 顾德恩王志辉郭瑞程旭侯剑章袁凯李伟蒋亚东
- 用于光谱检测的智能终端及其检测方法
- 本发明提供一种用于光谱检测的智能终端，包括内部的印刷电路板和CPU，包含光源模块、探测模块、传输模块、数据处理与分析模块、显示模块；本发明还提供一种利用所述智能终端检测物质的方法，光源模块对待检测物品进行光源照射，探测模...
- 刘子骥郑杰何璇杨建忠郑兴袁凯
- 文献传递
