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路海林

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：东北微电子研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇电路
  • 2篇集成电路
  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘介质
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇SEM
  • 1篇超大规模集成
  • 1篇超大规模集成...
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 2篇东北微电子研...

作者

  • 2篇路海林
  • 1篇郭长厚
  • 1篇王嵩宇
  • 1篇袁凯
  • 1篇陈东石
  • 1篇王冬梅

传媒

  • 2篇微处理机

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2002
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
双层金属化工艺中绝缘介质的SEM研究
2003年
本文介绍了扫描电子显微镜 ( SEM)的器件剖面分析技术 ,并对双层金属化工艺中的技术难点进行了分析和研究。
王嵩宇路海林袁凯郭长厚
关键词：绝缘介质SEM集成电路扫描电子显微镜
微细线条加工中光刻精度的保证被引量：1
2002年
论述了光刻在集成电路生产中的重要性 ,讨论了各种行之有效的光刻精度的保证方法 。
陈东石王冬梅路海林
关键词：光刻胶超大规模集成电路
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共1页<1>
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