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边潍

作品数：20 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：交通运输工程建筑科学自动化与计算机技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 20篇中文专利

领域

  • 2篇电气工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇建筑科学
  • 2篇交通运输工程
  • 1篇文化科学

主题

  • 8篇驻极体
  • 6篇微电子
  • 6篇感器
  • 6篇传感
  • 6篇传感器
  • 5篇静电
  • 4篇电场
  • 4篇电器
  • 4篇仪表
  • 4篇仪表技术
  • 4篇仪器
  • 4篇仪器仪表
  • 4篇仪器仪表技术
  • 4篇抛光
  • 4篇抛光工艺
  • 4篇微电子工艺
  • 4篇微加工
  • 4篇线阵列
  • 4篇纳米
  • 4篇纳米线

机构

  • 20篇清华大学

作者

  • 20篇边潍
  • 10篇伍晓明
  • 6篇王晓红
  • 6篇赵嘉昊
  • 4篇尤政
  • 4篇任大海
  • 4篇魏福建
  • 2篇刘理天

年份

  • 3篇2020
  • 2篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 5篇2016
  • 2篇2015
  • 5篇2014
  • 1篇2012
共 20 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种自保持MEMS继电器的触点结构
本发明公开了一种自保持MEMS继电器的触点结构，其包括第一、第二支撑梁，以及用于分别驱动第一、第二支撑梁的第一、第二驱动结构；第一、第二支撑梁的固定端固定在继电器衬底上，活动端分别设置有第一、二触点；第一触点相对于第一支...
赵嘉昊边潍
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基于重力梯度扭矩测量的隧道式MEMS星载姿态敏感器
本发明属于角度测量的惯性传感器技术领域，特别涉及一种基于重力梯度扭矩测量的隧道式MEMS星载姿态敏感器。该隧道式MEMS星载姿态敏感器由敏感模块、隧道式微小位移检测模块组成；其中，敏感模块由质量块和柔性梁组成；隧道式微小...
赵嘉昊曹亚陆边潍
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一种在驻极体上图形化驻极的方法
本发明公开了属于微电子技术领域的一种在驻极体上图形化驻极的方法。本发明的方法为在驻极体表面生长一层具有掩蔽作用的、易于图形化的材料。驻极体表面被这一种材料遮盖的地方无法被驻极，进而通过图形化掩蔽材料达到图形化驻极的目的；...
边潍伍晓明王晓红
基于重力梯度扭矩测量的隧道式MEMS星载姿态敏感器
本发明属于角度测量的惯性传感器技术领域，特别涉及一种基于重力梯度扭矩测量的隧道式MEMS星载姿态敏感器。该隧道式MEMS星载姿态敏感器由敏感模块、隧道式微小位移检测模块组成；其中，敏感模块由质量块和柔性梁组成；隧道式微小...
赵嘉昊曹亚陆边潍
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一种在驻极体上图形化驻极的方法
本发明公开了属于微电子技术领域的一种在驻极体上图形化驻极的方法。本发明的方法为在驻极体表面生长一层具有掩蔽作用的、易于图形化的材料。驻极体表面被这一种材料遮盖的地方无法被驻极，进而通过图形化掩蔽材料达到图形化驻极的目的；...
边潍伍晓明王晓红
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一种适于低频振动能量收集的上变频振动能量收集装置
本发明公开了一种适于从低频振动中收集能量的上变频振动能量收集装置，属于振动能量收集技术领域。本发明利用在运动和碰撞过程中视为刚体的铰接臂和扭簧组装成一个可将系统外部低频振动的能量转化为蕴含在系统内部机构之间的机械能的谐振...
边潍伍晓明卜灵王晓红刘理天
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一种基于石墨烯的纳米线阵列的制备方法
本发明属于微电子工艺领域和仪器仪表技术领域，特别涉及一种基于石墨烯的纳米线阵列的制备方法。本发明方法步骤包括：步骤1，在多孔模板两侧分别制作电极A和电极B，其中电极B需确保不会堵塞多孔模板的孔洞；步骤2，电极A和电极B分...
尤政任大海边潍郭甜薇魏福建
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基于驻极体的MEMS电场能量收集器
本发明属于能量收集利用技术领域，尤其涉及一种基于驻极体的MEMS电场能量收集器，主要用于空间中交流电场的能量收集。该收集器包括：绝缘基板、压电丝、支撑面、驻极体；其中压电丝置于绝缘基板平行上方；通过支撑面上粘附的驻极体构...
黄景傲伍晓明边潍
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一种基于驻极体的静电式转速传感器
本发明公开了属于转速传感器技术领域的一种基于驻极体的静电式转速传感器。所述的静电式转速传感器，由衬底、电极和驻极体层依次层叠组成，衬底上制作电极，电极被驻极体材料所覆盖；电极之间绝缘。本发明的基于驻极体的静电式转速传感器...
边潍伍晓明王晓红
一种基于金属电极的纳米线阵列的生长方法
本发明属于微电子工艺领域和仪器仪表技术领域，特别涉及特别涉及一种基于金属电极的纳米线阵列的生长方法。本发明方法步骤包括：步骤1，在多孔模板两侧分别制作电极A和电极B，其中电极B需确保不会堵塞多孔模板的孔洞；所述电极A为溅...
任大海尤政边潍魏福建郭甜薇
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