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郭德政

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇单纯形
  • 1篇单纯形法
  • 1篇电子光学
  • 1篇电子光学系统
  • 1篇优化设计
  • 1篇最优化设计
  • 1篇像散
  • 1篇光学

机构

  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇唐天同
  • 1篇姚振华
  • 1篇郭德政
  • 1篇程敏

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用于投射式电子束曝光系统的磁浸没透镜的优化设计
2001年
以磁浸没透镜的电流密度值的大小为优化参量 ,以成像系统的轴上像散为目标函数 ,利用单纯形优化法对用于投射式电子束曝光系统的新型磁浸没透镜进行了优化设计。结果表明 ,目标函数由未经优化前的 35 8.187nm降低到 5 0 .6 93nm。同时单纯形优化法不需要已知目标函数与优化参量之间的解析关系式及求导 。
程敏唐天同姚振华郭德政
关键词：单纯形法最优化设计电子光学系统
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共1页<1>
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