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郭秀梅
作品数:
1
被引量:17
H指数:1
供职机构:
哈尔滨工业大学航天学院
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相关领域:
机械工程
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合作作者
刘剑峰
哈尔滨工业大学航天学院
龙夫年
哈尔滨工业大学航天学院
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郭秀梅
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刘剑峰
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哈尔滨工业大...
年份
1篇
2005
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利用ZYGO干涉仪进行非球面检测技术研究
被引量:17
2005年
为了能够利用ZYGO数字干涉仪检测大口径深度高次非球面,提出了一种新的波前补偿方法,即透镜补偿与计算全息相结合. 通过设计实例表明,对于相对孔径为 1: 1. 08的大口径深度高次非球面,利用简单的 2片式透镜补偿器、并与计算全息的-1级衍射波相结合,系统的波前残余误差的均方根 (RMS)值可以控制在 0 .01λ以内. 结果表明,该检测方法具有通用性强,测量精度高等特点,较好的克服了以往各种检测方法的局限性.
龙夫年
郭秀梅
刘剑峰
关键词:
计算全息
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