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郭秀梅

作品数:1 被引量:17H指数:1
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院更多>>
相关领域:机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇全息
  • 1篇计算全息
  • 1篇非球面
  • 1篇非球面检测

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇郭秀梅
  • 1篇龙夫年
  • 1篇刘剑峰

传媒

  • 1篇哈尔滨工业大...

年份

  • 1篇2005
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
利用ZYGO干涉仪进行非球面检测技术研究被引量:17
2005年
为了能够利用ZYGO数字干涉仪检测大口径深度高次非球面,提出了一种新的波前补偿方法,即透镜补偿与计算全息相结合. 通过设计实例表明,对于相对孔径为 1: 1. 08的大口径深度高次非球面,利用简单的 2片式透镜补偿器、并与计算全息的-1级衍射波相结合,系统的波前残余误差的均方根 (RMS)值可以控制在 0 .01λ以内. 结果表明,该检测方法具有通用性强,测量精度高等特点,较好的克服了以往各种检测方法的局限性.
龙夫年郭秀梅刘剑峰
关键词:计算全息
共1页<1>
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