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闫宝军
作品数:
6
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供职机构:
中国科学院电工研究所
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相关领域:
文化科学
电气工程
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合作作者
陈静伟
中国科学院电工研究所
王文静
中国科学院电工研究所
刁宏伟
中国科学院电工研究所
李海玲
中国科学院电工研究所
赵雷
中国科学院电工研究所
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机构
6篇
中国科学院
作者
6篇
刁宏伟
6篇
王文静
6篇
闫宝军
6篇
陈静伟
4篇
周春兰
4篇
赵雷
4篇
李海玲
2篇
赵蕾
2篇
王革
年份
2篇
2014
2篇
2013
1篇
2012
1篇
2011
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6
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一种太阳能电池AZO减反射膜制备方法
一种太阳电池AZO减反射膜制备方法,其工艺步骤如下:①将基片装载在射频磁控溅射设备的小车上;②抽真空,使射频磁控溅射设备腔体真空度达到1x10<Sup>-4</Sup>Pa;③开启加热电源,给基片加热,加热温度范围为15...
刁宏伟
王文静
赵蕾
周春兰
李海玲
陈静伟
闫宝军
文献传递
一种PECVD喷淋电极
一种PECVD喷淋电极,所述的电极(5)外形为圆桶形,上部有开口,下部有底;电极(5)的内部空间被带有通孔的初级气体匀气板(2)分成上下两部分,下部空间为初级气体缓冲室(1),上部空间为二级气体缓冲室(3)。初级气体缓冲...
刁宏伟
王文静
赵雷
周春兰
李海玲
陈静伟
闫宝军
一种基片加热装置
一种基片加热装置,包括油箱体(12)及油箱密封盖。所述油箱体(12)为中空的圆桶形,且开口处设有外延边(11);内部空间用于存放高温导热油。油箱密封盖外形为圆盘形。密封盖靠近边缘处设有与真空设备对接用紧固螺钉的通孔(7)...
刁宏伟
王文静
赵雷
陈静伟
闫宝军
王革
文献传递
一种太阳能电池AZO减反射膜制备方法
一种太阳电池AZO减反射膜制备方法,其工艺步骤如下:①将基片装载在射频磁控溅射设备的小车上;②抽真空,使射频磁控溅射设备腔体真空度达到1x10<Sup>-4</Sup>Pa;③开启加热电源,给基片加热,加热温度范围为15...
刁宏伟
王文静
赵蕾
周春兰
李海玲
陈静伟
闫宝军
一种PECVD喷淋电极
一种PECVD喷淋电极,所述的电极(5)外形为圆桶形,上部有开口,下部有底;电极(5)的内部空间被带有通孔的初级气体匀气板(2)分成上下两部分,下部空间为初级气体缓冲室(1),上部空间为二级气体缓冲室(3)。初级气体缓冲...
刁宏伟
王文静
赵雷
周春兰
李海玲
陈静伟
闫宝军
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一种基片加热装置
一种基片加热装置,包括油箱体(12)及油箱密封盖。所述油箱体(12)为中空的圆桶形,且开口处设有外延边(11);内部空间用于存放高温导热油。油箱密封盖外形为圆盘形。密封盖靠近边缘处设有与真空设备对接用紧固螺钉的通孔(7)...
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王文静
赵雷
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