陈一
- 作品数：48 被引量：165H指数：9
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金中国科学院科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信医药卫生理学一般工业技术更多>>
- 用电子显微镜剖析存储器器件被引量：4
- 2004年
- 简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。
- 刘剑霜谢锋陈一胡刚
- 关键词：电子显微镜存储器透射电镜栅氧化层集成电路
- 九五铝瓷的辐照失效研究被引量：2
- 1998年
- 作为电子元器件封装材料的九五铝瓷，在电子辐照、高温及高电场条件下，观察到电导率会持续增加直至击穿这一现象。样品在辐照前后，电介质特性发生了变化。用傅里叶红外光谱法和ＴＥＭ剖析，观察了材料的辐照损伤，对辐照失效机理给出了初步的解释。
- 刘松顾春林张炽昌陈骏逸陈一神承复宗祥福
- 关键词：电导率电子元器件封装
- Al_2O_3陶瓷的电子辐照效应被引量：1
- 1998年
- 作为电子元器件封装材料的α－Al2O3陶瓷基片，在电子辐照、高温及高电场下，其电导率会持续增加直至击穿．电子辐照后，其电介质特性也发生了变化．
- 陈骏逸刘松张炽昌顾春林陈一神承复宗祥福
- 关键词：电导率电介质特性氧化铝陶瓷
- 慢性胃炎脾虚证分型与临床证方验证的现代病理生理学基础研究被引量：9
- 2001年
- 尹光耀张武宁许福昌陈一何雪芬李国成沈小静
- 关键词：慢性胃炎病理生理学
- 软损伤吸杂作用机构的分析被引量：9
- 2000年
- 用透射电镜等手段观察了硅片背面原始软损伤及它在工艺热过程中的变化。分析了软损伤吸杂的作用机构 :当热氧化时软损伤诱生热氧化层错 ,当外延生长时软损伤诱生半环形位错 ,硅片表面电活性区的有害杂质被吸收、沉积在这些诱生缺陷上。
- 夏玉山陈一宗祥福李积和
- 关键词：透射电镜硅片
- 胃康复冲剂对胃癌前病变脾虚证胃粘膜超微结构的影响被引量：9
- 2000年
- 目的 :观察胃康复冲剂对胃粘膜组织超微结构的影响。方法 :应用胃康复冲剂治疗 61例脾虚证胃粘膜肠上皮化生 (IM )和不典型增生 (ATP)患者 ,治疗前后均作胃镜检查 ,取胃窦部粘膜作组织病理和超微结构检查。结果 :脾气虚证与脾阳虚证病理疗效优于脾阴虚证和脾虚气滞证 (P <0 0 5,P <0 0 1) ;4组脾虚证胃窦部病灶区组织病理、肠化生亚型和非病灶区粘膜超微结构中的“背景病变” ,在治疗后均有改善 ,趋向接近于健康对照组。结论 :胃康复冲剂是通过改善体内生物活性物质间的量比平衡关系 ,以维护机体内环境适应性调节机制 ,促进胃窦部粘膜超微结构正常化 ,而治愈临床症状 ,逆转IM和ATP的。
- 尹光耀张武宁许福昌何雪芬陈一沈小静
- 关键词：胃癌前病变脾虚证胃康复冲剂
- 聚焦离子束(FIB)的透射电镜制样
- 唐雷钧谢进陈一郑国祥宗祥福
- 文献传递
- 外吸除用硅片背面加工技术的研究被引量：2
- 2001年
- 用SEM、TEM和光学显微镜研究了硅片背面的机械损伤 (包括软损伤 )和多晶硅的晶格结构 ,以及热处理过程中晶格结构和缺陷的演化 ,探索了吸杂的机理。实验结果表明 ,用本技术能减少S坑密度 ,提高硅片产生寿命 ,对金。
- 闵靖邹子英李积和周子美陈青松陈一
- 关键词：机械损伤氧化诱生层错硅片
- 扫描电子显微镜被引量：30
- 2003年
- 随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界.细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题.目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜.电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类.
- 刘剑霜谢锋吴晓京陈一胡刚
- 关键词：扫描电子显微镜二次电子
- 淀积在硅片上起杂质吸除用的多晶硅的研究被引量：3
- 2001年
- 在器件的高温工艺过程中多晶硅再结晶,晶粒不断地长大,多晶硅层厚因高温氧化而减薄直到完全耗尽。在多晶硅层完全去除后在硅衬底中诱生出高密度的氧化层错起吸除中心作用。多晶硅能促进硅片内的氧沉淀成核和生长,起内吸杂作用。本文提出了多晶硅持续吸杂的机理。
- 闵靖邹子英李积和陈青松周子美陈一
- 关键词：内吸杂氧沉淀
