陈兴来
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
- 供职机构：华南师范大学物理与电信工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 朗缪尔双探针结合光谱法诊断等离子体参数
- 利用朗缪尔双探针对电子束蒸发镀膜装置反应室的等离子体参数进行诊断。绘制等离子体的双探针伏安特性曲线,计算出电子温度和等离子体密度。结合光谱测量分析了气压、射频功率对其参数的影响。研究了等离子体的分布规律。结果表明:A.离...
- 李烨陈俊芳陈兴来
- 关键词：电子温度等离子体密度光谱测量
- 低温等离子辅助蒸发纳米铝膜微结构及光学特性研究
- 2014年
- 采用低温等离子体辅助气相沉积技术在低压常温条件下制备稳定的纳米铝膜。利用发射光谱和Langmuir双探针法分析射频感应耦合Ar等离子体成分及分布密度特性,结果显示在衬底附近等离子体密度衰减趋于平缓且均匀,浮动电位0.329V;随着功率的增加,Ar+对成膜起主要影响。再结合铝膜的原子力显微结构,研究了不同的等离子环境条件对成膜质量及其紫外可见光谱的光学性质影响。结果表明射频离子源的加入,薄膜微结构发生较明显变化;随功率增加,膜反射率出现峰值;微结构特性对其光学性能影响较大,随着表面粗糙度的增加,紫外及可见光的透射率先减小后增大。
- 陈兴来陈俊芳刘振兴李烨马俊辉李东珂
- 关键词：金属薄膜表面粗糙度发射光谱紫外可见
- 朗缪尔双探针结合光谱法诊断等离子体参数
- 利用朗缪尔双探针对电子束蒸发镀膜装置反应室的等离子体参数进行诊断。绘制等离子体的双探针伏安特性曲线,计算出电子温度和等离子体密度。结合光谱测量分析了气压、射频功率对其参数的影响。研究了等离子体的分布规律。结果表明:A.离...
- 李烨陈俊芳陈兴来
- 关键词：电子温度等离子体密度光谱测量
- 文献传递
- 氮分压与衬底温度对光透明材料氮化锌的影响
- 2014年
- 采用射频磁控溅射方法,在Ar-N2混合气中Si衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了氮分压和衬底温度对样品的光透明性、微结构、表面形貌以及光学性质的影响,同时研究了样品在空气氛围下保持20天后的性能,并与新镀薄膜进行比较.结果表明,Zn3N2薄膜直接光学带隙可由氮分压调节的范围为1.18～1.50 eV,氮分压比例增大,薄膜的光透明性减弱,并且对暴露在空气中20天以后的薄膜进行测试发现,薄膜的光透明性明显增强,随着衬底温度的升高,生长的薄膜择优取向增多,晶粒尺寸逐渐变大.
- 刘振兴陈俊芳陈兴来孙辰
- 关键词：光学特性
