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魏志国

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：北京航空航天大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇正交
  • 2篇正交试验
  • 1篇多弧离子镀
  • 1篇性能研究
  • 1篇设备控制
  • 1篇气相沉积
  • 1篇全方位离子注...
  • 1篇自动控制
  • 1篇离子镀
  • 1篇离子注入
  • 1篇复合膜

机构

  • 2篇北京航空航天...

作者

  • 2篇魏志国
  • 1篇张彦华
  • 1篇李刘合

传媒

  • 1篇新技术新工艺

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
Ti/TiN复合膜工艺优化及性能研究被引量：2
2006年
利用正交试验和极差分析方法,分析了多弧离子镀Ti/TiN复合膜中工艺参数(弧电流、氮气分压、基体负偏压、钛过渡层厚度)对Ti/TiN复合膜的纳米硬度和膜与基体的结合力的影响及主次关系,并通过正交试验对工艺参数进行了优化。研究表明,氮气分压和弧电流是影响Ti/TiN复合膜纳米硬度的2个最主要因素,膜层与基体的结合力随着弧电流的增加而下降;升高基体负偏压,虽然可以提高Ti/TiN复合膜纳米硬度和膜与基体的结合力,但是高负偏压将急剧升高基体温度,可能导致基体退火;沉积一定厚度的钛过渡层可以显著提高TiN膜层与基体的结合力。
魏志国李刘合张彦华
关键词：多弧离子镀正交试验
全方位离子注入沉积复合镀膜设备控制及工艺研究
魏志国
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共1页<1>
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