黄向东
- 作品数：48 被引量：98H指数：5
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金黑龙江省留学归国人员基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信理学更多>>
- 一种差动双区域共焦轴向测量装置
- 一种差动双区域共焦轴向测量装置属于三维共焦显微测量领域；该差动双区域共焦轴向测量装置包括设置在直射光路上的激光器，扩束准直镜，偏振分光棱镜、1/4玻片，探测物镜和样品，从激光器发射的激光束，经扩束准直镜扩束准直后，平行穿...
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- 激光移相干涉三角微位移测量装置及方法
- 激光移相干涉三角微位移测量装置及方法，属于超精密测量技术领域。本发明将移相干涉技术和激光三角技术结合起来，以实现大范围高精度微位移测量。本发明装置主要包括基于Ronchi光栅分光的同步移相干涉分系统和激光三角位移测量分系...
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- 一种双区域比例输出共焦探测方法与装置
- 一种双区域比例输出共焦探测方法与装置属于三维共焦显微测量领域，特别涉及一种双区域比例输出共焦探测方法与装置；该方法将收集物镜焦平面光斑以光斑中心为圆心分为同心的两个区域，采用不同区域光强的比例值作为双区域比例输出共焦探测...
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- 调幅式电容位移传感器的峰值检波电路设计被引量：18
- 2012年
- 针对调幅式电容位移传感器解调过程中由系统不确定相移导致的信号解调不准确问题,提出了一种基于改进的峰值保持电路的调幅式电容位移传感测量方法。首先,分析了调幅式电容位移传感器及其检测电路的工作原理,在研究调幅信号附加相移产生机理的基础上,提出了延迟反馈式峰值保持电路,用以去除附加相移对峰值解调的影响。然后,设计并制作了调幅式电容位移传感器,并对其各个性能指标进行了测试。最后,对实验结果和误差进行了分析。实验显示,提出的峰值保持电路的输出线性度优于0.05%,制作的传感器在0～25μm内数据测量稳定性优于10nm/30min,传感器测量偏差最大值为36nm。结果表明,采用延迟反馈型峰值保持电路有效地解决了系统不确定相移带来的峰值检波不准确的问题,所制作的电容传感器满足了高精度测量的要求。
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- 关键词：位移传感器电容传感器相位延迟
- 一种掩模台垂直运动分量的测量方法
- 一种掩模台垂直运动分量的测量方法属于半导体制造装备技术领域；该方法通过四个激光三角位移传感器的位置坐标构成测量变换阵，利用该变换阵求解掩模台垂直运动分量；由于该方法使用四组独立的位移信息，经过测量模型解算，能够精确地得到...
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- 一种小目标快速识别与跟踪方法被引量：17
- 2007年
- 提出了一种基于多帧相关技术与波门选通技术相结合的快速目标识别与跟踪方法。利用多级滤波抑制噪声的方法对单帧采集图像进行处理,得到潜在的目标信息,然后利用多帧相关性和目标的运动连续性确定目标;对于后续图像引入波门选通技术,在波门内进行预处理、分割与识别跟踪。探讨了多帧相关技术中目标确定的理论判据,综合考虑目标的尺寸因素和目标的运动特征,提出一种新的波门设定方法。实验结果表明,对于信噪比(SNR)大于等于2.0的图像,该方法能够在获得目标的运动参数及运行轨迹的基础上显著地提高识别效率,实现对运动目标的实时分析,同时更好地抑制背景噪声。
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- 关键词：图像处理
- 三维超分辨共焦阵列扫描显微探测方法及装置
- 一种光学阵列共焦超分辨显微三维探测装置，所述装置包括位于光学系统的中心光轴上依次排列的点光源，准直透镜，微透镜阵列及针孔阵列，扩束透镜、偏振分光镜，1/4波片，二元光瞳滤波器，物镜，载物台，收集透镜，探测针孔阵列及面阵C...
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- 一种掩模台垂直运动分量的测量装置
- 一种掩模台垂直运动分量的测量装置属于半导体制造装备技术领域，主要涉及一种掩模台垂直运动分量的测量装置；该装置将掩模台配置在水平运动导轨上，并且在掩模台的上方配置四个激光三角位移传感器；通过四个激光三角位移传感器的位置坐标...
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- 基于同步移相干涉的动压马达气膜间隙测量装置及方法
- 基于同步移相干涉的动压马达气膜间隙测量装置及方法，涉及一种动压马达气膜间隙测量装置及方法。解决了目前电容传感器测量工作距离小、激光三角传感器测量精度受限的问题。本发明装置主要包括干涉系统、正交光栅分光以及移相装置、图像采...
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- 基于球型电容原理的三维测头激光校准方法
- 为对所研制的基于球型电容原理的三维测头进行高精度校准,构建了一种高精度的激光校准台,将压电陶瓷的高位移发生灵敏度与双频激光干涉仪的高位移测量精度有机结合,突破了传统采用标准台阶与沟槽等作为标准件、在测量机上在线校准方法中...
- 崔俊宁谭久彬黄向东
- 关键词：校准测头压电陶瓷激光
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