龚伟
- 作品数:6 被引量:7H指数:2
- 供职机构:合肥工业大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划安徽省高等学校优秀青年人才基金更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术交通运输工程建筑科学更多>>
- 纳米三坐标测量机模拟接触式探头的标定(英文)被引量:1
- 2012年
- 三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数。标定方法基于自己研发的模拟接触式探头,该探头由带有光纤球头的的金属丝悬浮机构,二维角度传感器,小型迈克尔逊干涉仪组成。通过空间坐标转换,矩阵计算模型和标定实验的建立,重点描述了一种特定的标定方法与标定了模型的未知参数。实验结果表明三坐标测量机在x、y、z三方向上测量的标定值与实际值的位移误差的标准差小于30 nm,证明该方法具有一定的可行性与有效性。
- 钱剑钊黄强先李瑞君龚伟王志伟王晨晨
- 关键词:纳米三坐标测量机
- 纳米位移感测器(LDGI)的微处理机系统研究
- 当下超精密加工已经涉足纳米领域(0.1-100 nm),因此对相关测量设备和仪器的精度也提出了更高的要求,具备纳米级分辨率的三坐标测量机应运而生。纳米三坐标测量机中的关键技术包含纳米位移感测器技术以及信号细分技术,本文基...
- 龚伟
- 关键词:纳米三坐标测量机微处理机系统
- 基于DVD光学读取头的大量程高精度扫描探头被引量:4
- 2011年
- DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的感测范围有显著影响;去掉DVD光学读取头中的音圈电机,避免其迟滞特性的影响,可获得较高的精度;更换数值孔径值为0.16的聚焦透镜可增大线性感测范围。实验结果表明,该扫描探头的线性感测范围超过90μm,20min的稳定性误差为82.5nm。
- 李瑞君钱剑钊龚伟黄强先
- 关键词:聚焦透镜数值孔径量程
- Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine被引量:2
- 2012年
- 李瑞君范光照钱剑钊黄强先龚伟苗晋伟
- 关键词:稳定性分析
- 微纳米三维接触扫描测量探头
- 本发明公开了一种微纳米三维接触扫描测量探头,其特征是设置一测头单元是在一固定圆环的中央设置三臂悬浮片,在三臂悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片,各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接,形成三臂悬浮片在固定圆环中的悬浮结构;在...
- 范光照苗晋伟李瑞君龚伟张友良王志伟张晴
- 文献传递
- 微纳米三维接触扫描测量探头
- 本发明公开了一种微纳米三维接触扫描测量探头,其特征是设置一测头单元是在一固定圆环的中央设置三臂悬浮片,在三臂悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片,各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接,形成三臂悬浮片在固定圆环中的悬浮结构;在...
- 范光照苗晋伟李瑞君龚伟张友良王志伟张晴