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丁继成

作品数:3 被引量:12H指数:2
供职机构:浙江大学化学系更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇理学

主题

  • 2篇氧化硅
  • 2篇二氧化硅
  • 1篇淀积
  • 1篇动力学
  • 1篇动力学研究
  • 1篇氧化钛
  • 1篇气相淀积
  • 1篇解离
  • 1篇解离吸附
  • 1篇化学气相淀积
  • 1篇激光
  • 1篇激光化学
  • 1篇光化学
  • 1篇二氧化钛
  • 1篇二氧化钛膜
  • 1篇SI(100...
  • 1篇TIO
  • 1篇
  • 1篇

机构

  • 3篇浙江大学

作者

  • 3篇徐铸德
  • 3篇丁继成
  • 2篇陈万喜
  • 1篇杜志强

传媒

  • 2篇Chines...
  • 1篇高等学校化学...

年份

  • 1篇1995
  • 2篇1994
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
TiO_2膜的激光化学气相淀积被引量:9
1994年
TiO_2膜的激光化学气相淀积丁继成,徐铸德(浙江大学化学系杭州310027)应用化学气相淀积(CVD)技术淀积薄膜,已广泛应用于半导体、光学、高熔点材料等方面的研究.使用激光作为化学气相淀积的热源有如下明显的优点p且:(回)空间分辨和控制,既可进行...
丁继成徐铸德
关键词:二氧化钛膜激光化学气相淀积
红外激光诱导SiO_2薄膜生长的氧化动力学研究
1994年
在较低基底温度(室温至~200℃)下,用10.6μmCWCO_2激光在硅(100)表面生成SiO_2薄膜,研究了反应气配比(O_2/N_2)、基底温度、激光强度、激光辐照时间等实验条件对SiO_2薄膜形成的影响,探讨了红外激光助长的硅表面氧化反应动力学过程,认为在薄层氧化区域(<30nm)存在反应诱导期。
徐铸德陈万喜丁继成
关键词:二氧化硅动力学
氧在理想的和重构的Si(100)面吸附研究被引量:3
1995年
本文分别用ASED—MO和DV—Xα方法对氧在理想的Si(100)面以及用DV-Xα方法对氧在重构的Si(100)面吸附进行了研究,对不同吸附位的计算结果表明:①氧原子在Si(100)面以(短)桥位吸附最稳定,认为氧在硅表面是解离吸附,且O与Si形成Si-Si吸附态;②DV—xα方法对表面吸附及催化剂性质的研究具有较好的精确性和适用性;③当氧在硅表面暴露量较少时,其吸附为原子和氧分子共存。
徐铸德丁继成杜志强陈万喜
关键词:解离吸附二氧化硅
共1页<1>
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