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丁继成
作品数:
3
被引量:12
H指数:2
供职机构:
浙江大学化学系
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
徐铸德
浙江大学化学系
陈万喜
浙江大学化学系
杜志强
浙江大学化学系
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年份
1篇
1995
2篇
1994
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TiO_2膜的激光化学气相淀积
被引量:9
1994年
TiO_2膜的激光化学气相淀积丁继成,徐铸德(浙江大学化学系杭州310027)应用化学气相淀积(CVD)技术淀积薄膜,已广泛应用于半导体、光学、高熔点材料等方面的研究.使用激光作为化学气相淀积的热源有如下明显的优点p且:(回)空间分辨和控制,既可进行...
丁继成
徐铸德
关键词:
二氧化钛膜
激光
化学气相淀积
红外激光诱导SiO_2薄膜生长的氧化动力学研究
1994年
在较低基底温度(室温至~200℃)下,用10.6μmCWCO_2激光在硅(100)表面生成SiO_2薄膜,研究了反应气配比(O_2/N_2)、基底温度、激光强度、激光辐照时间等实验条件对SiO_2薄膜形成的影响,探讨了红外激光助长的硅表面氧化反应动力学过程,认为在薄层氧化区域(<30nm)存在反应诱导期。
徐铸德
陈万喜
丁继成
关键词:
二氧化硅
动力学
氧在理想的和重构的Si(100)面吸附研究
被引量:3
1995年
本文分别用ASED—MO和DV—Xα方法对氧在理想的Si(100)面以及用DV-Xα方法对氧在重构的Si(100)面吸附进行了研究,对不同吸附位的计算结果表明:①氧原子在Si(100)面以(短)桥位吸附最稳定,认为氧在硅表面是解离吸附,且O与Si形成Si-Si吸附态;②DV—xα方法对表面吸附及催化剂性质的研究具有较好的精确性和适用性;③当氧在硅表面暴露量较少时,其吸附为原子和氧分子共存。
徐铸德
丁继成
杜志强
陈万喜
关键词:
硅
氧
解离吸附
二氧化硅
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