余森江
- 作品数：23 被引量：15H指数：3
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- 相关领域：理学一般工业技术文化科学自动化与计算机技术更多>>
- 沉积在硅油表面铜薄膜的特征表面形貌被引量：1
- 2009年
- 采用真空蒸发方法在硅油表面制备了一种具有自由支撑边界条件的铜薄膜系统并研究了其成膜机理和带状有序结构。实验发现:此类铜薄膜的生长机制近似服从二阶段生长模型。进一步实验发现:铜分枝状凝聚体在大气中作无规扩散和旋转,直到在某处堆积或者连接。在该连续铜薄膜系统中,我们观察到了带状有序结构。该有序结构是由一系列长度基本一致而宽度不尽相同的平行键块组成。实验结果表明:该有序结构是在样品被取出真空腔之前,由于液体基底的收缩导致薄膜压应力而形起的。理论推测铜薄膜中可能同时存在一系列不同类型的正弦型内应力分布,而这种内应力分布最终导致带状有序结构的形成。
- 陈苗根余森江周红
- 关键词：铜薄膜液体基底表面形貌
- 准自由支撑铝薄膜中有序表面结构的自组织生长被引量：4
- 2005年
- 利用真空热蒸发方法在液体基底表面成功制备出具有自由支撑边界条件的金属铝薄膜系统,研究了薄膜中自发形成的自边界向内部区域逐渐生长而呈带状分布的有序表面结构.该有序结构的形成与薄膜厚度、沉积速率和真空环境中的生长时间等实验参数密切相关,其形成过程可用一个三阶段生长模型来描述.实验证明此类有序结构是在薄膜内应力作用下,铝原子及原子团簇在液体表面自由扩散凝聚所致.进一步的理论研究表明基于特征的边界条件和固液相互作用,该自由支撑铝薄膜系统中包含了丰富的正弦形内应力分布,各种具有不同振幅和频率的正弦形内应力的合成可形成矩形状畴块和带状有序结构.
- 张永炬余森江
- 关键词：液体基底自组织生长
- 液体基底表面金属薄膜的特殊力学性能及复杂有序结构
- 2006年
- 利用真空热蒸发方法在液体(硅油)基底表面制备了铝、铁等多种具有自由支撑边界条件的金属薄膜系统,研究了其特殊的力学性能及由此引起的复杂表面有序结构．实验结果表明,此类薄膜中存在自边界向内部区域呈不断衰减的压应力场,导致裂纹在薄膜边界处凝聚产生并逐渐往薄膜纵深区域延伸．由于固体薄膜和液体基底之间的切向作用能几乎为零,金属薄膜可较自由地在硅油表面作整体滑移运动．伴随着压应力的不断释放,裂开后的薄膜片之间发生碰撞挤压并逐渐相互穿插叠加,最终形成具有反对称特征的带状有序结构．基于此类薄膜系统特殊的力学行为,对有序结构的形貌特征和生长机理进行了详细的分析讨论．
- 余森江张永炬邬良能崔玉建葛洪良
- 关键词：液体基底金属薄膜力学性能内应力
- 科学前沿在物理专业课程教学中的渗透与实践被引量：3
- 2014年
- 在物理专业课程教学过程中,我们实践发现,通过加强科学研究前沿在课程教学中的渗透,不仅学生的学习兴趣等得到了提高,更重要的是在选择毕业论文指导教师、参与科研课题和课外科技活动等方面起到了很好的作用。
- 陈苗根余森江焦志伟
- 关键词：物理专业课程教学
- 硅油基底表面铁薄膜的生长机理及表面有序结构被引量：2
- 2006年
- 利用直流溅射方法在液体基底(硅油)表面成功制备出金属铁薄膜系统,研究了其生长机理及特征的表面有序结构.实验发现铁薄膜的生长过程与液相基底表面非磁性金属薄膜的情况类似,基本服从二阶段生长模型.连续铁薄膜中可观测到尺寸巨大的圆盘形有序结构,其生长演化与溅射功率、沉积时间和真空环境中的生长时间等实验条件密切相关.实验证明,此类有序结构是在薄膜内应力作用下,铁原子及原子团簇在液体表面自由扩散迁移,并最终在硅油基底表面某些区域成核凝聚所致.在较大溅射功率和沉积时间条件下,圆盘外部区域的铁薄膜中形成周期分布的波纹褶皱,其波长约为10μm,波峰基本与圆盘的边界平行.进一步研究表明:在沉积过程中,由于沉积铁原子的局域能量作用,导致硅油的表面层结构发生改变而形成一聚合物层;在随后的冷却过程中,聚合物层的强烈收缩使铁薄膜处于很大的压应力场中,促使薄膜起皱形成波纹结构.
- 张永炬余森江葛洪良邬良能崔玉建
- 关键词：液体基底
- SiAlN_x薄膜的应力释放模式及力学性能研究
- 2014年
- 利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结果表明:退火后的SiAlNx薄膜存在较大的残余压应力,伴随着压应力的释放,薄膜中出现电话线形屈曲结构;屈曲结构从薄膜边缘产生,并逐渐往样品中心区域扩展;在电话线屈曲的传播过程中,屈曲的各结构参量(包括波长、振幅、宽度等)均发生了明显演化。基于连续弹性理论,对电话线屈曲的结构特征和生长演化进行了分析,并估算了薄膜的内应力和膜基结合能。
- 周红余森江陈君陈苗根
- 关键词：低辐射镀膜玻璃内应力
- 液相基底上铝薄膜的开裂与折叠行为研究
- 2012年
- 利用真空蒸发方法在液相基底(硅油)上成功制备出具有自由支撑边界和界面条件的金属铝薄膜系统,研究了薄膜的开裂和折叠行为。结果表明:沉积过程中,硅油基底的受热膨胀使铝薄膜处于较大张应力状态,伴随着张应力的释放,薄膜中出现开裂形貌。沉积完成之后,系统的逐渐冷却促使硅油基底收缩,并使得铝薄膜处于较大压应力状态,伴随着压应力的释放,薄膜中出现特征的折叠形貌。基于液相基底上金属薄膜的特殊力学行为,对此类开裂和折叠形貌进行了深入阐述。
- 余森江周曼江维顺洪阳陈苗根
- 关键词：开裂折叠内应力
- Si_(90)Al_(10)N_x薄膜的工艺控制及光学性能研究
- 2013年
- 通过改变磁控溅射过程中氩气与氮气(Ar/N2)的分压比,制备了多种不同厚度的Si90Al10Nx薄膜样品,并采用透射率轮廓法对样品在热处理前后的光学性能(包括折射率和消光系数)进行了测量和分析。结果表明,样品的光学性能可通过调整Ar/N2的流量比、薄膜厚度、退火条件等工艺参数加以控制。
- 陈君周红余森江
- 关键词：磁控溅射折射率消光系数分压比
- 基于Matlab液面银薄膜分形维数的计算分析
- 2011年
- 利用Matlab数值分析软件,将沉积在液体基金的银薄膜真彩数值图像进行了二值化处理,并计算了该银薄膜的分形盒维数。经计算发现银薄膜图像灰度分布具有双峰结构。二值化后的图像计算得到液体基底金属银薄膜的盒维数大约为1.50,计算结果与相关文献的结果一致。它表明基于Matlab的盒维数算法用于计算此类液体基底金属薄膜的二维分形盒维数具有较好的准确性,同时也表明其可以用来分析液体基底表面其他金属薄膜分形维数。
- 陈苗根陈小军余森江焦志伟
- 关键词：二值化银薄膜
- 氮化硅薄膜中翘曲的模态选择及演化规律
- 利用大型的离线镀膜生产线，在浮法玻璃衬底上沉积了氮化硅薄膜，研究了退火后氮化硅薄膜中翘曲的模态选择及其动力学演化规律。实验发现，各类翘曲模态，包括直边形、水泡串和电话线形，能够在氮化硅薄膜中共存。直边形只出现在翘曲生长的...
- 余森江
- 关键词：翘曲脱层内应力
