刘景峰
- 作品数：7 被引量：35H指数：4
- 供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 移相式点衍射干涉仪的几个关键技术
- 极紫外光刻技术作为下一代光刻技术的最佳候选技术,为了得到衍射极限的分辨率,光学系统的 RMS 波像差应小于其工作波长的1/14,约为1 nm,这对检测技术提出了前所未有的要求。本文以应用于极紫外光刻光学系统波像差检测中的...
- 刘景峰李艳秋刘克
- 关键词：极紫外光刻波像差
- 文献传递
- 高分辨率成像系统波像差检测中的图像处理技术研究
- 光学干涉测量是以光波长为计量单位的一种高精度、高灵敏度、非接触性的光学测试技术，能实现实时、快速、高精度、多参数、全场、动态测量，在生产和科学研究中有着广泛的应用。随着光学系统的分辨率越来越高，为了达到衍射极限分辨率，对...
- 刘景峰
- 关键词：图像处理傅立叶变换投影物镜
- 带有分割遮拦环形干涉图的波面拟合
- 针对干涉测量实验中采集到的带有分割遮拦的环形干涉图,采用Zernike环多项式作为基底函数系对波面数据进行拟合,并对拟合结果进行了理论分析和实验验证。首先,利用相关矩阵,在理论上分析了Zernike环多项式在带有分割遮拦...
- 刘克李艳秋刘景峰
- 关键词：光学测量波面拟合
- 文献传递
- 含噪声包裹相位图的加权最小二乘相位展开算法研究被引量：12
- 2008年
- 二维相位展开广泛应用在精密光学测量、自适应光学、合成孔径雷达、图像处理等领域中。为处理含噪声包裹相位图,以预条件共轭斜量法求解权重最小二乘相位展开方程。引入非加权二维离散余弦变换求解泊松方程得到的最小二乘相位解作为共轭斜量法的初始解,从而加快了收敛速度,同时提出一种新质量图确定算法求解过程中的权重项。计算机模拟和试验表明算法计算速度快,能有效地消除传统路径积分法在处理信噪比低包裹相位图时的"拉线"现象,是一种有效的相位展开方法。
- 刘景峰李艳秋刘克
- 关键词：相位展开泊松方程最小二乘离散余弦变换
- 移相式点衍射干涉仪的几个关键技术被引量：11
- 2007年
- 极紫外光刻技术作为下一代光刻技术的最佳候选技术,为了得到衍射极限的分辨率,光学系统的RMS波像差应小于其工作波长的1/14,约为1 nm,这对检测技术提出了前所未有的要求。本文以应用于极紫外光刻光学系统波像差检测中的移相式点衍射干涉仪为基础,对干涉仪中几个关键技术进行了讨论,并给出了相应的解决方法。
- 刘景峰李艳秋刘克
- 关键词：极紫外光刻波像差
- 带有分割遮拦环形干涉图的波面拟合被引量：7
- 2008年
- 针对干涉测量实验中采集到的带有分割遮拦的环形干涉图,采用Zernike环多项式作为基底函数系对波面数据进行拟合,并对拟合结果进行了理论分析和实验验证。首先,利用相关矩阵,在理论上分析了Zernike环多项式在带有分割遮拦的单位环形区域内的交叉耦合现象。其次,分别采用Zernike圆多项式和Zernike环多项式对实验得到的中心遮拦比ε≈0.504,且带有分割遮拦的环形干涉图进行波面拟合,从拟合残余误差、各项Zernike系数的稳定性、传递矩阵的条件数三个方面,对比分析了两种多项式的拟合精度、可靠性以及抗扰动能力。实验结果表明,对于带有分割遮拦环形波面的拟合,当环形区域中分割遮拦较小时,Zernike环多项式具有较高的拟合精度、可靠性和抗扰动能力,可以达到很好的拟合效果。
- 刘克李艳秋刘景峰
- 关键词：光学测量波面拟合
- 一种新的质量图导引路径积分相位展开算法被引量：12
- 2007年
- 本文首先简要介绍了路径积分相位展开方法的原理,针对路径积分法在处理轮廓不连续包裹相位图时存在的缺陷,提出了一种新的质量图用来导引相位展开。算法以包裹相位质量为依据,最先展开质量最高的像素,最后展开质量最低的像素,以防止相位展开误差的传播,把不可避免的相位展开误差局限在最小的区域内。实验结果表明,该算法计算速度快,能有效地处理轮廓不连续相位展开问题。
- 刘景峰李艳秋刘克
- 关键词：相位展开
