卢丙辉
- 作品数：63 被引量：15H指数：3
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- 发文基金：国家自然科学基金哈尔滨工业大学科研创新基金黑龙江省海外学人科研资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 用于检测微小球面三维形貌的相移式衍射干涉测量仪及测量方法
- 用于检测微小球面三维形貌的相移式衍射干涉测量仪及测量方法，属于空间物体三维形貌的光学检测技术领域。它解决了传统对微小球面的检测手段存在的单次测量检测范围小及参考面理想球面制造困难的问题。本发明装置包括短相干激光器、二分之...
- 陈凤东刘炳国刘国栋胡涛庄志涛卢丙辉宫娜
- 基于子孔径拼接的衍射干涉靶丸形貌检测技术被引量：4
- 2016年
- 为实现惯性约束聚变实验中核心部件球形靶丸表面形貌的高精度、高效率、无遗漏检测,建立了基于子孔径拼接和衍射干涉技术相结合的靶丸形貌测量装置,给出了测量的基本原理及系统单孔径横向分辨率的计算方法,并对靶丸旋转扫描时子孔径的排布进行了划分。针对点云数据横向间隔过大导致匹配算法迭代收敛速度缓慢,甚至不收敛的问题,提出以虚拟的极小半径代替实际曲率半径,将点云进行横向压缩的方法,在保持形貌特征不变的同时提高算法的匹配速度和准确性。最后,对直径1mm的镀金球靶进行了实际测量,得到拼接后相对形貌误差峰谷值和均方根值分别为1.332λ和0.479λ的检测结果,可以同时获得表面形貌的整体起伏特征,以及局部的形貌细节。
- 卢丙辉刘炳国孙和义陈凤东刘国栋
- 关键词：靶丸表面形貌子孔径拼接
- 基于映射图像匹配的子孔径拼接技术被引量：1
- 2016年
- 为实现微球形貌检测中子孔径数据的快速、准确拼接,给出基于点衍射干涉原理的微球形貌检测模型,分析了干涉场横向分辨率的分布规律,提出基于映射图像匹配的子孔径拼接方法。通过形貌数据的等尺度变换,实现横向分辨率均匀化,并将三维点云数据进行降维处理,映射生成二维图像,从而将形貌数据的旋转关系转化为图像坐标的平移关系,再通过图像匹配算法对特征点进行匹配,得出子孔径坐标系间的对应关系,从而实现拼接。最后通过仿真实验验证了该方法的可行性和有效性。
- 卢丙辉陈凤东刘炳国刘国栋戚子文
- 关键词：微球子孔径拼接图像匹配
- 用于微球表面形貌检测的瞬时移相干涉测量仪及采用该测量仪实现微球表面形貌的测量方法
- 用于微球表面形貌检测的瞬时移相干涉测量仪及采用该测量仪实现微球表面形貌的测量方法，涉及光学检测空间物体三维形貌领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。参...
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- 文献传递
- 基于负反馈锁相振动抑制的微小球体表面形貌检测装置
- 本发明的基于负反馈锁相振动抑制的微小球体表面形貌检测装置，涉及一种光学小球表面检测装置，目的是为了克服现有时域移相点衍射干涉测量方法对于环境振动引入的随机误差较为敏感，存在一定量的残余误差的问题，包括第一激光器、第二激光...
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- 文献传递
- 移相衍射干涉法微球型靶丸全表面形貌检测技术研究
- 微小球体是微光学、微机械等领域中最常见的元器件形态之一，其表面微观形貌对于其多方面应用特性有着重要的影响。例如，直径介于几百微米至几毫米的微球型靶丸是惯性约束聚变(Inertial Confinement Fusion,...
- 卢丙辉
- 关键词：惯性约束聚变装置相位信息偏心误差
- 基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法
- 一种基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，属于微小零件非接触形貌测量技术领域。本发明为解决现有微小零件的三维形貌很难获得精确测量的问题。包括：将被测目标固定在三维电动平移台的z轴升降台上，视觉测头固定在二维转台...
- 卢丙辉刘炳国刘国栋陈凤东甘雨庄志涛
- 文献传递
- 微球表面形貌检测中的偏心误差分析与修正
- 2015年
- 由于使用传统的误差修正方法进行微球形貌检测会有过大的残差,本文提出了一种新的偏心误差修正方法来提高微球表面形貌检测的精度和效率。在分析了横向偏心和轴向偏心引入光程差数学模型的基础上,推导了偏心误差的高阶近似模型,提出了小曲率半径下基于Zernike多项式拟合的偏心误差修正方法,并给出误差修正的流程及相关参数的标定方法。通过对2mm直径的微球的表面形貌检测验证了所提出误差修正方法的可行性和有效性。结果表明:相对于零条纹时的形貌误差基准,采用本文提出的方法修正后的残余形貌误差峰谷(PV)值为0.081 5λ,均方根(RMS)值为0.016 1λ,比传统方法修正效果更好,能够满足高精度微球形貌检测的需求。
- 卢丙辉刘国栋孙和义刘炳国陈凤东
- 关键词：微球偏心误差
- 用于微球表面形貌快速检测的短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法
- 用于微球表面形貌快速检测的短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测空间物体三维形貌的领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。干涉测量仪中，参考光...
- 陈凤东卢丙辉刘国栋甘雨刘炳国庄志涛
- 文献传递
- 基于正交型立体视觉结构的目标靶六维定位方法
- 基于正交型立体视觉结构的目标靶六维定位方法，解决了如何提高目标靶的六维定位精度的问题，属于惯性约束聚变技术领域。本发明的正交型立体视觉结构，包括四路监测单元和具有六自由的运动调节能力送靶机构，四路监测单元分别为上路监测单...
- 陈凤东卢丙辉刘国栋刘炳国路程
