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崔基道

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：西南化工研究设计院有限公司更多>>
相关领域：化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇电子工业
  • 1篇蚀刻
  • 1篇特种气体
  • 1篇气体
  • 1篇膜形成

机构

  • 1篇西南化工研究...

作者

  • 1篇张应焞
  • 1篇崔基道

传媒

  • 1篇低温与特气

年份

  • 1篇1986
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
电子工业用的特种气体被引量：1
1986年
用于半导体生产的电子气的种类和用途如表1所示。
高市侃崔基道张应焞
关键词：电子工业特种气体蚀刻膜形成
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共1页<1>
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