张鲁薇
- 作品数：5 被引量：5H指数：2
- 供职机构：浙江大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 一种微流控对比光路检测系统
- 本发明公开了一种微流控对比光路检测系统，包括沿光路依次布置的探测光发生装置、待测样品盛放装置以及信号采集装置，在所述探测光发生装置与待测样品盛放装置之间设有用于将探测光分为第一光束和第二光束的分光装置；所述待测样品盛放装...
- 蔡恩林岑兆丰李晓彤王姗姗黄焓张鲁薇罗红妹董云
- 强激光系统光束质量的非线性退化及补偿研究被引量：2
- 2014年
- 为了在强激光非线性传输仿真中综合考虑系统像差等因素,提出了一种基于光线追迹的非线性介质光追方法,并编程实现了线性介质与非线性介质的混合建模。以三片式聚焦系统为例,在系统中加入KDP晶体作为非线性介质,仿真分析了不同激光功率密度下KDP晶体的非线性效应对光束质量的影响。仿真结果表明,当激光功率密度达到1.62×1010 W/cm2时,非线性效应会导致光束质量明显下降。在该仿真结果的基础上提出了在不改变焦面位置的情况下,将元件间隔作为补偿器进行系统优化的方法。优化结果表明,焦斑尺寸较优化前减小2.8μm,规范尺寸下的环围能量提高了16.2%,焦面处的光束质量得到显著改善。
- 张鲁薇李晓彤岑兆丰阮望超罗红妹
- 关键词：非线性光学光线追迹强激光系统光束质量
- 一种微流控对比光路检测系统
- 本发明公开了一种微流控对比光路检测系统，包括沿光路依次布置的探测光发生装置、待测样品盛放装置以及信号采集装置，在所述探测光发生装置与待测样品盛放装置之间设有用于将探测光分为第一光束和第二光束的分光装置；所述待测样品盛放装...
- 蔡恩林岑兆丰李晓彤王姗姗黄焓张鲁薇罗红妹董云
- 文献传递
- 实际高数值孔径光刻系统的偏振分析被引量：2
- 2013年
- 在光学系统偏振传输理论的基础上,对一高数值孔径(NA)的透射式光刻系统进行了偏振分析,分析中考虑了系统的实际特性——现有工艺水平可制备的增透膜、薄膜和基底材料的吸收作用以及偏振照明,以增加分析结果的可靠性。通过计算系统各光学界面的透射率、反射率、吸收率及二次衰减值等偏振参数,得到镀膜、吸收作用以及不同偏振照明对系统传输性能和成像性能的影响。结果表明镀膜能有效提高该光刻系统的性能及稳定性,并可以将不同偏振照明对该系统性能的影响减小至可忽略的水平;同时,显著的基底吸收作用是该系统能量损失的主因,但吸收引入的偏振作用相对总体而言较小。
- 罗红妹岑兆丰李晓彤张鲁薇张跃骞
- 关键词：光学设计投影光刻偏振分析增透膜
- 基于光线追迹的强激光非线性效应的仿真与分析
- 在强激光系统中，三阶非线性效应是导致光束波前畸变，光束质量退化，甚至引起非线性自聚焦和“热像”效应的主要因素。如何减小非线性效应的影响，如何改善光束质量，如何提高强激光系统的性能，一直是强激光系统设计人员关注的焦点。 ...
- 张鲁薇
- 关键词：非线性光学光线追迹强激光系统光束质量
- 文献传递
