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李鹏

作品数：3 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 2篇压阻
  • 2篇氧化硅
  • 2篇敏感膜
  • 2篇敏感器
  • 2篇二氧化硅
  • 2篇超微量
  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇机械噪声
  • 1篇分辨率

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇左国民
  • 3篇李昕欣
  • 3篇李鹏
  • 3篇王跃林
  • 2篇封松林
  • 1篇于海涛
  • 1篇刘剑
  • 1篇金大重

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2007
  • 1篇2006
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用
本发明涉及一种用于检测由特异性分子结合产生表面应力的集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用，其特征在于采用SOI硅片的氧化埋层作为悬臂梁的主体，在上面构建薄层单晶硅压阻敏感器，压阻上面氧化形成薄二氧化硅。...
李昕欣李鹏左国民王跃林封松林
文献传递
一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用
本发明涉及一种用于检测由特异性分子结合产生表面应力的集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用，其特征在于采用SOI硅片的氧化埋层作为悬臂梁的主体，在上面构建薄层单晶硅压阻敏感器，压阻上面氧化形成薄二氧化硅。...
李昕欣李鹏左国民王跃林封松林
文献传递
微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析被引量：3
2007年
本文采用能量统计分布方法研究微机械悬臂梁的噪声模型,对热机械噪声理论模型进行了拓展和修正,使之适用于低温和高频条件.研究了温度、压力和频率对热机械噪声、温漂噪声和吸附-脱附噪声的影响.根据研究结果对静态检测悬臂梁和动态频率响应悬臂梁传感器进行了具体分析.对于静态下工作的微机械悬臂梁,振幅的随机变化取决于热机械噪声.对于工作在谐振状态的微米尺度悬臂梁,在室温常压下热机械噪声是主要的噪声机制;当尺寸进一步缩小至纳米尺度时,表面效应变得显著,吸附-脱附噪声成为主要的噪声机制.基于对不同情况下噪声特性的分析,对微机械悬臂梁传感器的优化设计规则进行了探讨.
金大重李昕欣刘剑于海涛王跃林左国民李鹏
关键词：微电子机械系统分辨率
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