柳清亮
- 作品数：8 被引量：8H指数：2
- 供职机构：装甲兵工程学院装备再制造工程系装备再制造技术国防科技重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划军队科研计划项目更多>>
- 相关领域：机械工程金属学及工艺一般工业技术更多>>
- 非晶碳涂层的摩擦磨损性能研究被引量：2
- 2008年
- 采用多源磁控溅射物理气相沉积法在单晶硅表面制备梯度变化非晶碳涂层(类金刚石薄膜),通过调整工艺参数获得厚度在1～2μm的涂层。采用MML多功能纳米性能测试系统测试了非晶碳涂层的纳米硬度和弹性模量。采用CETRUTM-2型显微摩擦测试仪测试了非晶碳涂层在不同载荷下的摩擦磨损行为。结果表明,涂层具有较高的硬度和弹性模量,可以分别达到12.5GPa和184GPa;涂层在不同的载荷下具有较好的摩擦性能,摩擦因数基本保持在0.1左右,磨损率达到10-9mm3/N·m数量级。
- 柳清亮张伟汪勇
- 关键词：梯度涂层摩擦磨损性能
- 梯度变化非晶碳涂层的摩擦学行为
- 2007年
- 采用多源磁控溅射物理气相沉积法在单晶硅片、20Cr和Cr12W表面制备了梯度变化非晶碳涂层，测试了非晶碳涂层的纳米硬度和弹性模量及摩擦磨损行为。结果表明：涂层具有较高的硬度和弹性模量，分别达到15．3GPa和184GPa；涂层具有较好的摩擦性能，在干摩擦条件下摩擦因数基本保持在0．1～0．2，磨损率达到10^-9mm^3／（N·m）数量级。
- 柳清亮张伟汪勇
- 关键词：梯度涂层摩擦磨损性能
- 磁控溅射法制备类金刚石薄膜的摩擦学特性
- 采用磁控溅射技术在单晶硅表面制备了Ti、C和Ti、Cr、C两种类金刚石薄膜,用原子力显微镜(AFM)和俄歇能谱仪(AES)分析了薄膜的微观形貌和成分分布,用纳米压痕仪测试了薄膜的硬度和弹性模量,考察了薄膜在不同载荷下同G...
- 王红美于鹤龙柳清亮张伟
- 关键词：磁控溅射类金刚石薄膜摩擦学性能
- 文献传递
- 磁控溅射法制备类金刚石薄膜的摩擦磨损性能研究
- 采用磁控溅射技术在单晶硅衬底上沉积Ti、Cr、C类金刚石薄膜，用原子力显微镜(AFM)和俄歇能谱仪(AES)表征薄膜的微观形貌和成分分布，用纳米压痕仪测定薄膜的硬度和弹性模量，并用UMT型摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同试...
- 王红美于鹤龙柳清亮张伟
- 关键词：磁控溅射法类金刚石薄膜摩擦磨损性能微观形貌
- 文献传递
- 非晶碳涂层在不同环境下的摩擦磨损行为研究
- 2007年
- 采用多源磁控溅射物理气相沉积法在单晶硅表面制备梯度变化的非晶碳涂层(类金刚石薄膜),通过调整工艺参数获得厚度在1～2μm的非晶碳涂层;采用球-盘式摩擦磨损试验机探讨了非晶碳涂层在干燥空气、水润滑和油润滑环境下的摩擦磨损行为。结果表明:非晶碳涂层的摩擦因数基本保持在0.1左右,摩擦环境的变化对涂层的磨损率影响较大;非晶碳涂层在水润滑环境中的磨损率在10-7mm3/Nm数量级;在干燥空气摩擦环境中具有稳定的耐磨损性能,磨损率在10-9mm3/Nm数量级;特别在油润滑的环境下,非晶碳涂层的耐磨损性能更加优异。
- 柳清亮何嘉武张伟汪勇
- 关键词：摩擦磨损性能
- 磁控溅射法制备类金刚石薄膜的摩擦学特性
- 采用磁控溅射技术在单晶硅表面制备了Ti、C和Ti、Cr、C两种类金刚石薄膜,用原子力显微镜(AFM)和俄歇能谱仪(AES)分析了薄膜的微观形貌和成分分布,用纳米压痕仪测试了薄膜的硬度和弹性模量,考察了薄膜在不同载荷下同G...
- 王红美于鹤龙柳清亮张伟
- 关键词：磁控溅射类金刚石薄膜摩擦学性能
- 文献传递
- 非晶碳类金刚石薄膜摩擦学特性及其应用被引量：6
- 2006年
- 综合地介绍了类金刚石膜研究现状，着重说明了非晶碳类金刚石薄膜的摩擦学特性，分析了沉积方法、掺杂元素、摩擦环境、基体及对偶材料对其摩擦学特性的影响。最后，简要说明了非晶碳类金刚石膜应用情况。
- 张伟张纾柳清亮刘仲谦徐滨士
- 关键词：摩擦磨损性能
- 磁控溅射法制备类金刚石薄膜的摩擦磨损性能研究
- 采用磁控溅射技术在单晶硅衬底上沉积Ti、Cr、C类金刚石薄膜,用原子力显微镜(AFM)和俄歇能谱仪(AES)表征薄膜的微观形貌和成分分布,用纳米压痕仪测定薄膜的硬度和弹性模量,并用UMT型摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同试...
- 王红美于鹤龙柳清亮张伟
- 关键词：磁控溅射类金刚石薄膜摩擦磨损性能
- 文献传递
