梁焕巢 作品数:5 被引量:1 H指数:1 供职机构: 东北大学理学院 更多>> 相关领域: 一般工业技术 农业科学 理学 更多>>
基板温度对金属超薄膜生长影响的模拟研究 基板的温度是薄膜生长的一个十分重要的物理参量.通过计算机建立了三个薄膜生长模型比较系统地对不同温度下的薄膜生长过程进行动态地模拟,并比较其模拟结果.MC模型(Monte Carlo)和KMC模型(Kinetic Mont... 梁焕巢 李林 朱林关键词:计算机模拟 金属薄膜 薄膜生长 文献传递 基板温度对金属超薄膜生长影响的模拟研究 基板的温度是薄膜生长的一个十分重要的物理参量。通过计算机建立三个薄膜生长模型比较系统地对不同温度下的薄膜生长过程进行动态地模拟,并比较其模拟结果。MC模型(Monte Carlo)和KMC模型(Kinetic Monte... 梁焕巢 李林 朱林关键词:计算机模拟 薄膜生长初期岛形貌转变的模拟研究 被引量:1 2007年 用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法实现了(001)衬底上薄膜生长初始阶段岛形貌的模拟。在模型中考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动等过程,并考虑了衬底温度、沉积速率、Lennard-Jones(L-J)作用势范围等因素对生长的影响。研究了岛边缘亚稳粒子绕岛运动对岛形貌的影响。结果表明,绕岛运动越强岛形貌越趋于紧致状。模拟中发现:当绕岛能力相同时,随着衬底温度的升高,岛形貌由紧致向枝晶转变。 陈丹丹 李林 滕春禹 钟钰 梁焕巢关键词:蒙特卡罗 沉积速率 各向异性(110)衬底上薄膜生长的蒙特卡罗模拟 本文用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法实现了(110)衬底上薄膜生长初始阶段的模拟。模型中,衬底为二维的矩形格子,考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动等过程,并考虑了衬底温度、沉积速率等因素。研究了... 陈丹丹 李林 滕春禹 钟钰 梁焕巢关键词:蒙特卡罗 各向异性 文献传递 各向异性(110)衬底上薄膜生长的蒙特卡罗模拟(英文) 本文用Kinetic Monte Carlo(KMC)方法实现了(110)衬底上薄膜生长初始阶段的模拟。模型中,衬底为二维的矩形格子,考虑了原子沉积、吸附原子扩散和绕岛运动等过程,并考虑了衬底温度、沉积速率等因素。研究了... 陈丹丹 李林 滕春禹 钟钰 梁焕巢关键词:蒙特卡罗 各向异性 文献传递