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江少波

作品数：5 被引量：1H指数：1
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇旋涂
  • 2篇漂移
  • 2篇微加热器
  • 2篇温度漂移
  • 2篇晶片
  • 2篇空腔
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体晶片
  • 2篇BCB
  • 2篇MEMS
  • 1篇多芯片
  • 1篇应力
  • 1篇应力吸收
  • 1篇有限元
  • 1篇有限元仿真
  • 1篇有限元仿真分...
  • 1篇热应力
  • 1篇微系统

机构

  • 5篇北京大学

作者

  • 5篇江少波
  • 3篇张威
  • 3篇苏卫国
  • 3篇郑焕
  • 2篇万松
  • 2篇李宋
  • 1篇李雷
  • 1篇苏卫国
  • 1篇张威
  • 1篇夏文

传媒

  • 1篇北京大学学报...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 3篇2013
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
一种热应力隔离的MEMS微加热器互联基板及其制备方法
本发明公开了一种热应力隔离的MEMS微加热器互联基板及其制备方法。本发明的MEMS微加热器互联基板包括：在衬底上形成绝缘层；在绝缘层上形成加热电阻；在加热电阻上形成第一隔离层，加热电阻镶嵌在第一隔离层的下表面；在第一隔离...
张威江少波苏卫国邓康发郑焕夏文万松李雷朱宁莉
文献传递
基于MEMS集成加热器的温控系统研究被引量：1
2014年
采用MEMS集成加热器设计一个温控系统。所用的加热器效率达到7.35 mm2K/mW,且功耗低。加热器面积为6 mm×6 mm,具有较高的系统集成度。该温控系统采用Fuzzy-PID温度控制算法,温度稳态误差小于0.1°C,并且约10秒即达到稳态,响应速度快。使用该系统对MEMS压力计进行环境温控,可明显抑制器件的温度漂移。
江少波苏卫国万松邓康发张威
关键词：MEMS传感器温度漂移集成度FUZZY-PID控制
一种基于BCB胶的晶片级微空腔的密封方法
本发明公开了一种基于BCB胶的晶片级微空腔的密封方法。本发明采用先在半导体晶片上旋涂BCB胶及软烘，然后旋涂一定厚度的光刻胶，之后利用光刻胶作为掩膜分别刻蚀BCB胶和微空腔，最后将具有微空腔的半导体晶片与MEMS器件的器...
张威苏卫国邓康发李宋周浩楠江少波郑焕
文献传递
一种基于BCB胶的晶片级微空腔的密封方法
本发明公开了一种基于BCB胶的晶片级微空腔的密封方法。本发明采用先在半导体晶片上旋涂BCB胶及软烘，然后旋涂一定厚度的光刻胶，之后利用光刻胶作为掩膜分别刻蚀BCB胶和微空腔，最后将具有微空腔的半导体晶片与MEMS器件的器...
张威苏卫国邓康发李宋周浩楠江少波郑焕
文献传递
基于MEMS微加热器基板的恒温微系统研究
MEMS传感器在航天导航、医疗、消费电子等领域具有越来越广泛的应用。很多MEMS传感器由于其结构所受的热应力影响，在环境温度发生变化时，器件的输出信号会随温度变化，导致性能下降，即产生温度漂移。在总结前人的研究成果的基础...
江少波
关键词：微加热器温度漂移PID控制有限元仿真分析
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