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沈祖祥

作品数：24 被引量：0H指数：0
供职机构：中国恩菲工程技术有限公司更多>>
相关领域：化学工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 2篇科技成果

领域

  • 3篇化学工程
  • 2篇电子电信

主题

  • 23篇多晶
  • 23篇多晶硅
  • 22篇氯化
  • 18篇干法
  • 18篇干法处理
  • 14篇四氯化硅
  • 14篇氯化硅
  • 14篇氯化氢
  • 10篇三氯氢硅
  • 10篇尾气
  • 10篇回收
  • 8篇污染
  • 8篇污染问题
  • 8篇环境污染
  • 8篇环境污染问题
  • 6篇氢气
  • 6篇工业硅
  • 4篇氢气回收
  • 2篇循环利用
  • 2篇气态

机构

  • 24篇中国恩菲工程...

作者

  • 24篇汤传斌
  • 24篇肖荣晖
  • 24篇毋克力
  • 24篇沈祖祥
  • 24篇严大洲
  • 1篇谢冬晖
  • 1篇汪绍芬
  • 1篇郑红梅
  • 1篇陆志方
  • 1篇宗绍兴
  • 1篇李超林
  • 1篇侯晓东

年份

  • 1篇2013
  • 3篇2012
  • 8篇2011
  • 10篇2009
  • 2篇2008
共 24 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
利用四氯化硅对生产多晶硅所产生的尾气进行回收的方法
利用四氯化硅对生产多晶硅所产生的尾气进行回收的方法，用液态的四氯化硅对尾气进行淋洗，对淋洗之后的尾气进行加压和冷却，用吸收剂将氢气与氯化氢和二氯二氢硅分离；利用吸附剂吸附和滤除，可回收氢气，然后对吸附剂内的氯化氢和氯硅烷...
沈祖祥严大洲汤传斌肖荣晖毋克力
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回收生产多晶硅所产生的尾气的方法
一种回收生产多晶硅所产生的尾气的方法，尾气主要包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，所述方法包括以下步骤：加压和冷却尾气，以便通过气液分离将氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅分离；使气态的氢...
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生产多晶硅的方法
一种生产多晶硅的方法，用工业硅和氯化氢反应生成三氯氢硅；将三氯氢硅经提纯后与氢气反应生成多晶硅；收集主要包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅的尾气：加压和冷却尾气，气液分离氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三...
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一种从生产多晶硅所产生的尾气中循环回收氯化氢的方法
一种从生产多晶硅所产生的尾气中循环回收氯化氢的方法，包括以下步骤：用液态的四氯化硅对尾气进行淋洗；对淋洗之后的尾气进行加压和冷却进行气液分离；使气态的混合物通过液态的吸收剂；利用吸附剂吸附和滤除；对被吸附在吸附剂内的物质...
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从生产多晶硅所产生的尾气中回收二氯二氢硅的方法
一种从生产多晶硅所产生的尾气中回收二氯二氢硅的方法，包括以下步骤：低温淋洗所述尾气，加压和冷却进行气液分离；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂，以便使气态的氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的吸收剂中，并将氢气...
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回收生产多晶硅所产生的尾气的方法
一种回收生产多晶硅所产生的尾气的方法，尾气主要包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，所述方法包括以下步骤：加压和冷却尾气，以便通过气液分离将氢气、氯化氢、和二氯二氢硅与液态的三氯氢硅和四氯化硅分离；使气态的氢...
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一种多晶硅生产方法
一种改进的多晶硅生产方法，包括以工业硅和氯化氢为原料，反应生成三氯氢硅，所述三氯氢硅经提纯后，送入还原炉与氢气反应，还原生成多晶硅，并收集尾气，其中所述尾气主要包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，所述方法包...
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从生产多晶硅所产生的尾气中回收氯化氢的方法
一种从生产多晶硅所产生的尾气中回收氯化氢的方法，包括以下步骤：低温淋洗所述尾气，加压和冷却进行气液分离；使气态的氢气、氯化氢、和二氯二氢硅通过液态的吸收剂，以便使气态的氯化氢和二氯二氢硅溶解于液态的吸收剂中，并将氢气与氯...
沈祖祥严大洲汤传斌肖荣晖毋克力
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一种多晶硅生产方法
一种改进的多晶硅生产方法，包括以工业硅和氯化氢为原料，反应生成三氯氢硅，所述三氯氢硅经提纯后，送入还原炉与氢气反应，还原生成多晶硅，并收集尾气，其中所述尾气主要包括氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅，所述方法包...
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可回收循环利用尾气中的氯化氢的多晶硅生产方法
一种可回收循环利用尾气中的氯化氢的多晶硅生产方法，包括以工业硅和氯化氢为原料，反应生成三氯氢硅，所述三氯氢硅经提纯后，送入还原炉与氢气反应，还原生成多晶硅，并收集尾气，其中所述尾气主要包括氢气、氯化氢、和氯硅烷，所述氯硅...
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