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王修伦
作品数:
6
被引量:15
H指数:2
供职机构:
东南大学
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相关领域:
电子电信
航空宇航科学技术
交通运输工程
机械工程
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合作作者
茅盘松
东南大学微电子中心
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硅微机械陀螺
机构
6篇
东南大学
作者
6篇
王修伦
5篇
茅盘松
传媒
4篇
传感器技术
1篇
电子器件
年份
1篇
1996
5篇
1995
共
6
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微机械结构的微静电驱动
被引量:2
1995年
本文讨论了微机械结构的微静电驱动技术的基本原理,同时结合硅微机械结构和材料特性,给出微静电驱动实现的考虑。
茅盘松
王修伦
关键词:
微机械结构
硅
硅微型振动陀螺的设计
被引量:2
1995年
从理论和材料力学两方面对硅微机械振动陀螺进行研究,提出了一种简化的结构模型,并介绍了这种陀螺的设计方法。
茅盘松
王修伦
吴绍夫
关键词:
硅
振动陀螺
振动陀螺
导航
硅微振动陀螺的理论分析
被引量:3
1995年
应用欧拉动力学基本方程,对双框架结构的硅微型振动陀螺进行了理论分析,给出了完整的陀螺动力学方程,并且从灵敏度和驱动技术的角度对这种陀螺的机理作了探讨。
茅盘松
王修伦
吴绍夫
关键词:
硅
微型机械
振动陀螺
动力学方程
硅微机械振动陀螺的静电驱动
被引量:6
1996年
详细分析了双框架结构的硅微机械振动陀螺的驱动技术。结果说明:为了获得陀螺的最佳灵敏度,陀螺外框架上外加驱动电压的人小和频率的选择受到陀螺内外框架固有频率的约束。
茅盘松
王修伦
关键词:
硅
振动陀螺
驱动技术
灵敏度
硅微机械振动陀螺的研究
王修伦
硅微机械陀螺的研究
被引量:2
1995年
介绍硅微机械陀螺的研究。这种陀螺用半导体加工技术生产,该陀螺的突出优点是尺寸小、重量轻、功耗和成本低,它的进一步发展可使仪表小型化,可望从飞机、汽车到电子外科手术仪器和模型飞机等方面得到广泛应用。
茅盘松
吴绍夫
王修伦
关键词:
陀螺
微机械加工
硅
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