王建国
- 作品数：2 被引量：9H指数：1
- 供职机构：重庆大学更多>>
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- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术更多>>
- 基于Fabry-Perot腔阵列光谱传感器的集成化研究被引量：1
- 2008年
- 提出了一种微型集成化光谱传感器,其结构包括不同腔长的Fabry-Perot腔阵列、光电探测器阵列、读出电路几部分。一个光谱探测单元包括一个Fabry-Perot腔和其下的光电探测器,各Fabry-Perot腔腔长的不同,可实现对不同波长的检测。该光谱传感器无可动部件,结构性能稳定,用CMOS工艺和MEMS工艺实现一体化集成,制作体积为mm量级。文章中将详细阐述该传感器的各部分结构设计和工艺实现等问题。
- 张雪静温志渝王建国孙建新
- 关键词：MEMS光电探测器读出电路
- 基于Fabry-Perot腔阵列的集成化微型光谱仪方案及模拟被引量：9
- 2006年
- 提出了一种微型光谱仪,该微型光谱仪基于法布里-珀罗腔滤波性的阵列式微型光谱仪。其基本结构是在硅基底上实现多个不同腔长的阵列,从而实现对多个波长的监测。探测单元即为一个法布里-珀罗腔,由硅基底-金属薄膜-二氧化硅层-金属薄膜构成。进行了相应的模拟计算,结果表明在基本结构为铝膜(14nm)-SiO2-银膜(39 nm)的情况下,通带半宽度可达到15 nm,单个探测单元面积仅为0.14 mm×0.14 mm即可达到微型光栅式光谱仪(最小体积在cm量级)的光通量,整个光谱探测部分体积仅在mm量级。该微型光谱仪设计尺寸在几个mm的量级、无活动部件,可以同时对多个波长进行检测,并可望利用现有IC加工手段实现光谱仪传感器化。
- 温志渝陈刚王建国
- 关键词：微型光谱仪
