白晓晓
- 作品数：14 被引量：4H指数：1
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：山西省科技攻关计划项目(工业)更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计
- 本发明公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本发明的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶信号，结...
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- 文献传递
- 一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计
- 本实用新型公开了一种基于约瑟夫逊效应检测的硅压阻式加速度计，包括：键合基板、支撑框体、约瑟夫逊器件、弹性梁、质量块和压敏电阻。本实用新型的有益效果在于将约瑟夫逊器件与硅压阻集成,可将加速度信号转换为补偿严格一致的电流台阶...
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- 一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪
- 本发明公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本发明的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块驱动方向...
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- 文献传递
- 一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计
- 本发明公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本发明的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优...
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- 谐振式微机械陀螺阻尼设计
- 阻尼存在于微机械陀螺设计、制作和封装整个过程，对其灵敏度、分辨率等动力学特性产生重要影响，直接决定陀螺的品质因数。但由于对微机械陀螺阻尼研究不足，MEMS阻尼模型复杂，在工程实际中长期存在微机械陀螺的理论设计性能与实际性...
- 白晓晓
- 关键词：微机械陀螺谐振器品质因数
- 基于石墨烯的MEMS声学传感器
- 一种基于石墨烯的MEMS声学传感器，主要结构由由上层结构、下层结构及石墨烯组成，上层结构上制作有集音腔、间隙腔、通孔板、拾音孔、上层金属层、上层绝缘层、上层金属连接位、上层键合金属层，下层结构层上制作有通孔板、间隙腔、阻...
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- 文献传递
- 一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计
- 本实用新型公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本实用新型的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道...
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- 谐振式巨磁阻微机械陀螺噪声分析被引量：1
- 2016年
- 巨磁阻效应微陀螺具有高灵敏、低噪声等优点.本文详细阐述了巨磁阻效应微陀螺的工作原理,设计了微陀螺结构,其驱动方向频率为5 553.7Hz,检测方向频率为5 556.7Hz,频率差仅为3Hz,实现了模态的良好匹配.设计了应用于该微陀螺中的检测磁场,测试了一款巨磁阻器件的灵敏度,基于上述结果完成了巨磁阻微陀螺的系统级仿真,并分析了巨磁阻微陀螺的噪声组成以及噪声的计算.仿真结果表明,将巨磁阻效应应用于陀螺的角速率信号检测中,可以实现灵敏度为46 mV·((°)/s)-1,噪声为7.826×10-3((°)/h)·(Hz)-1的信号检测.
- 褚伟航白晓晓蒋孝勇李孟委
- 关键词：巨磁阻微机械陀螺系统级仿真噪声分析
- 一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪
- 本实用新型公开了一种基于纳米光栅检测的新型陀螺仪，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、驱动悬臂梁、可动框体、检测悬臂梁、质量块、激光光源、光电转换器件、信号检测模块。根据本实用新型的微机械陀螺仪，其整体结构对称，两质量块...
- 李孟委王莉朱京白晓晓王琪禇伟航刘俊
- 谐振式微陀螺中通孔质量块阻尼建模研究被引量：2
- 2015年
- 针对由于谐振式微陀螺阻尼现有计算模型的局限性,导致微陀螺性能设计指标与实测指标相差较大的难题,重点研究了微陀螺中通孔质量块水平振动时阻尼形成的机理,考虑了空气阻尼、热弹性阻尼及其耦合作用的影响,提出了通过确定修正系数的方法计算微陀螺通孔质量块阻尼的思路,建立了通孔质量块水平振动阻尼模型,并将其用于通孔微谐振器的阻尼计算.试验表明,利用新模型计算的通孔微谐振器水平振动阻尼与测试值的误差约为1.5%.
- 白晓晓李孟委褚伟航蒋孝勇
