祁恒
- 作品数：14 被引量：42H指数：4
- 供职机构：北京工业大学激光工程研究院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金北京市自然科学基金北京市属高等学校人才强教计划资助项目更多>>
- 相关领域：电子电信理学金属学及工艺医药卫生更多>>
- TiNi合金薄膜的脉冲激光沉积制备与应用被引量：2
- 2005年
- 概述了三种TiNi合金薄膜的制备方法,其中重点阐述了脉冲激光沉积法,并详细介绍了TiNi合金薄膜作为微驱动元件在微流体控制系统和微操作系统中的应用。随着薄膜制备工艺和性能研究的发展,TiNi合金薄膜将在复合智能材料与结构、MEMS驱动和传感元件的设计与制造等方面具有更广阔的应用前景。
- 祁恒陈涛左铁钏
- 关键词：形状记忆合金脉冲激光沉积微机电系统
- 高聚物生物芯片材料激光加工性能分析被引量：10
- 2005年
- 用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以获得比较理想的高聚物基生物芯片。根据对制作生物芯片材料的性能要求,比较了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)对不同波长激光的光波透过率,测量了高聚物材料经准分子激光加工后的微结构,并得出准分子激光对不同材料的刻蚀速率与入射激光能量密度之间的关系。结果表明,PMMA和PC都能够完全吸收KrF准分子激光能量,可以用准分子激光在表面进行微加工制作生物芯片;用PMMA制作出的生物芯片,在使用时对检测结果的质量影响比PC小;对于相同的入射激光能量密度,准分子激光对PMMA的刻蚀率比PC高;由于与准分子激光之间的反应机理不同,PMMA更容易被加工,但是加工后的微结构质量较PC差。
- 祁恒陈涛
- 关键词：生物芯片高聚物准分子激光微加工
- 两种高聚物生物芯片材料的光学透过及激光加工性能分析
- 2004年
- 用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以获得比较理想的高聚物基生物芯片.根据对制作生物芯片材料的性能要求,比较了聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)对不同波长激光的光波透过率,测量了高聚物材料经准分子激光微加工后的微结构,并得出准分子激光对不同高聚物材料的刻蚀速率与入射激光能量密度之间的关系.……
- 祁恒陈涛
- 关键词：生物芯片高聚物准分子激光微加工
- PMMA基连续流式PCR微流控芯片的C0_2激光直写加工与应用被引量：13
- 2009年
- 采用CO2激光直写烧蚀加工技术在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片表面加工微通道,分析了CO2激光输出功率和激光束移动速度对加工质量的影响。选用4.5W输山功率和76.2mm移动速度,在30s内加工了水力直径为100μm的微通道。在进行微通道的大批量、快速加工时,CO2激光直写烧蚀加工技术具有较高的工艺稳定性,工艺流程简单,可随时根据实验需要对微通道结构进行调整和再加工。微通道的激光拉曼光谱与PMMA基片相同,保证了微通道和盖片对聚合酶链式反应(PCR)物化学影响的一致性。虽然徽通道边缘存在少量重铸物。但不会影响热压键合效果,芯片能够满足PCR扩增中的压力与密封要求。使用这种芯片实现了180bp拟南芥脱氧核糖核酸(DNA)片段的PCR扩增,扩增效果与使用常规PCR仪相当,验证了采用CO2激光直写烧蚀方法加工PMMA基连续流式PCR微流控芯片的可行性。
- 祁恒王贤松陈涛马雪梅姚李英左铁钏
- 关键词：CO2激光聚合酶链式反应
- 高聚物基连续流式PCR微流控芯片系统与应用技术研究
- PCR(聚合酶链式反应)微流控芯片是一种单元反应界面为微米量级的微型化学反应系统，具有线性尺寸小、物理量梯度高、比表面积大和流动状态为低雷诺数层流等特点，可以实现柔性生产、规模放大，以及快速和高通量筛选等功能。PCR微流...
- 祁恒
- 关键词：聚合酶链式反应微流控芯片数值模拟
- 准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究
- 2007年
- 为了研究在准分子激光刻蚀聚合物的过程中避免经常往复更换不同大小而形状相同的掩模的实验操作,保证实验的连续性和结果的真实性和可靠性,在实验的加工系统中基于变焦距系统的原理采用引入一个变焦物镜代替原来系统中普通物镜的方法,取得了一个准分子激光刻蚀可变焦光路系统.采用ZEMAX软件设计一个可变焦物镜镜头并分析了它的成像质量.经过ZEMAX软件的模拟,结果表明,此变焦镜头成像质量基本达到要求,缩小倍率在0.15～0.24范围内可连续变化.因此,使用这个变焦物镜,在同样的实验条件下,可以采用同一片掩模而不再往复更换掩模就可蚀刻出大小不同的结构;同时由于不再经常需要中断实验过程,保证了实验结果的真实性.该技术在激光蚀刻中有很大的可行性.
- 钱晓峰陈涛祁恒
- 关键词：光线追迹准分子激光
- 聚合酶链式反应微流控芯片的准分子激光制备和应用研究被引量：10
- 2006年
- 采用价格便宜的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)代替价格昂贵的硅或玻璃作为聚合酶链式反应(PCR)微流控芯片的基片材料,采用柔性大且自动化程度高的准分子激光微加工方法代替加工工艺复杂的光刻化学腐蚀方法,在19kV和18mm/min的优化加工参数下,在48mm×67mm×1mm的PMMA基片上制备出20个循环的PCR微流控芯片.芯片微通道横截面呈梯形,底面光滑.微通道宽104μm,深56μm,长2060mm,加工耗时约110min.该芯片和相同尺寸的盖片在160N和105℃条件下通过热压经20min键合在一起,键合强度为0.85MPa.键合后的芯片和温控系统集成在一起,采用比例积分微分(PID)方法得到的控温精度为±0.2℃,采用红外热像仪得到的相邻温区间的温度梯度分别为16.5和22.2℃,最后利用该芯片在对170bp的DNA片段实现了体外扩增.
- 姚李英祁恒陈涛文思远伯晓晨陈苏红王升启左铁钏
- 关键词：PMMA准分子激光
- 两种高聚物生物芯片材料的光学透过及激光加工性能分析
- ＜正＞ 用准分子激光对高聚物材料进行微加工制作,可以获得比较理想的高聚物基生物芯片.根据对制作生物芯片材料的性能要求,比较了聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）和聚碳酸酯（PC）对不同波长激光的光波透过率,测量了高聚物材料经准分...
- 祁恒陈涛
- 关键词：生物芯片高聚物准分子激光微加工
- 文献传递
- PMMA基PCR生物芯片及其准分子激光制备技术的几个关键问题
- 分析了微流控聚合梅链式反应(PCR)芯片循环的几何结构,对常规非闭环的穿透形式,确定了可行的温区排列结构;对于闭环式的空间分布形式,分析了几种结构的热效率.研究了准分子激光对聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)基片的刻蚀机制,获...
- 陈涛姚李英祁恒刘世炳吴坚左铁钏
- 关键词：光学工程气动控制
- 文献传递
- PMMA基PCR微流控生物芯片准分子激光加工被引量：8
- 2006年
- 采用准分子激光在PMMA基片上刻蚀加工出PCR微流控生物芯片,分析了准分子激光能量密度和工作台移动速度对微通道加工质量(深度及粗糙度)的影响,加工过程中选择较低的激光能量密度和较高的工作台移动速度,都有利于获得底面更加光滑的微通道。通过热键合的方法制备出完整的密闭式PCR微流控生物芯片。
- 祁恒姚李英王桐陈涛左铁钏
- 关键词：微加工准分子激光聚合酶链式反应
